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GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀

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更新時(shí)間：2026-06-04 10:02:32瀏覽次數(shù)：113次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

傳感器類型：電化學(xué)、催化、光學(xué) 采樣方式：泵吸工作方式：連續(xù)監(jiān)測(cè) 功耗：小于3.5W 響應(yīng)時(shí)間：電化學(xué)＜60s，催化＜30s

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀是一款專門(mén)用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體濃度的儀器，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測(cè)等特點(diǎn)。電磁泵吸式吸氣，進(jìn)氣管長(zhǎng)度可達(dá)30米，氣管接頭采用快插接頭，操作施工方便。支持行業(yè)內(nèi)如氨氣、、氯氣、硅烷等四十多種氣體的檢測(cè)，適用于半導(dǎo)體晶圓、液晶面板及光伏面板制造等行業(yè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.泵壽命長(zhǎng)，流量恒定

電磁泵吸原理，相對(duì)電機(jī)式機(jī)械磨損小

流量監(jiān)控，PID控制算法

2.配件替換簡(jiǎn)單，便于維護(hù)

卡扣式前蓋，手動(dòng)開(kāi)合

傳感器模組、泵模塊化設(shè)計(jì)

3.通信方式豐富

標(biāo)配4~20mA

可選485總線、消防總線或Ethernet

4.氣體檢測(cè)精度高

溫度補(bǔ)償

零點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)

5.大屏顯示，內(nèi)容豐富

LCD點(diǎn)陣屏，可顯示任意字符

支持中英文切換

6.支持多種氣體檢測(cè)

支持電化學(xué)、催化、光學(xué)等原理傳感器

可搭配熱裂解器實(shí)現(xiàn)NF3氣體檢測(cè)

7.參數(shù)可配，使用靈活

零點(diǎn)抑制、零點(diǎn)跟蹤可配置

報(bào)警閾值及延時(shí)，報(bào)警屏蔽可配置

8.報(bào)警聯(lián)動(dòng)，輸出控制

內(nèi)置ALM1、ALM2、故障3個(gè)繼電器

產(chǎn)品應(yīng)用

適用于半導(dǎo)體制造、液晶面板制造、光伏制造和電池制造等行業(yè)。是一款高精度、高靈敏度的氣體檢測(cè)儀，能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)和監(jiān)測(cè)工廠中的有毒氣體、、腐蝕性氣體等

技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)氣體	支持多達(dá)百種氣體（不斷擴(kuò)充中…）	氣體報(bào)警指示	ALM1指示燈亮紅色/ALM2指示燈亮紅色，屏幕指示ALARM1/ALARM2
檢測(cè)原理	電化學(xué)、催化、光學(xué)	氣體報(bào)警動(dòng)作	自動(dòng)復(fù)位，記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄
采樣方式	泵吸	氣體報(bào)警控制	ALM1/ALM2繼電器動(dòng)作，常開(kāi)常閉可配置
流量	默認(rèn)0.5L/min±10%，可調(diào)	故障報(bào)警類型	流量故障/傳感器故障/通信故障
工作方式	連續(xù)監(jiān)測(cè)	故障報(bào)警指示	故障指示燈亮黃色
響應(yīng)時(shí)間T90	電化學(xué) ＜ 60s，催化＜ 30s	故障報(bào)警動(dòng)作	自動(dòng)復(fù)位，記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄
示值誤差	不同氣體不同，詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù)	故障報(bào)警控制	故障繼電器動(dòng)作，常開(kāi)常閉可配置
檢測(cè)量程	不同氣體不同，詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù)	檢測(cè)儀功能	報(bào)警延時(shí)/零點(diǎn)抑制/零點(diǎn)跟蹤/靈敏度補(bǔ)償/實(shí)時(shí)流量/零點(diǎn)平移/跨度標(biāo)定/標(biāo)定記錄/報(bào)警記錄/事件記錄/
分辨率	不同氣體不同，詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù)	可擴(kuò)展熱裂解	是
氣體單位	不同氣體不同，詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù)	輸出信號(hào)	4-20mA/以太網(wǎng)
濃度顯示	LCD點(diǎn)陣屏，分辨率200 x 140	安裝方式	壁掛
傳感器模組接口	數(shù)字接口	電源	DC24V/POE
指示燈	4顆（電源指示燈綠色、ALM1指示燈紅色、ALM2指示燈紅色、故障指示燈黃色）	功耗	小于3.5W
繼電器輸出控制	3路（ALM1報(bào)警、ALM2報(bào)警、故障）	重量	約 750g
繼電器容量	AC125V、0.25A/DC24V、0.5A	……	……