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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢泰和豐順光電有限公司


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CDG045D高精度真空計(jì) 氦質(zhì)譜檢漏儀

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更新時間：2026-06-12 13:40:03瀏覽次數(shù)：180次

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商鋪產(chǎn)品：80條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：銷售

產(chǎn)品簡介

CDG045D高精度真空計(jì) INFICON SKY CDG045D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計(jì)溫度控制在 45 °C，具有的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、......

詳細(xì)介紹

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長了使用壽命
  • 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
  • 化學(xué)和腐蝕性真空過程
  • 一般薄膜和真空過程
  • 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標(biāo)準(zhǔn)
  • 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測量可追溯性

規(guī)格

類型1000 Torr, 1100 mbar500 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.15 0.15 0.15
溫度效應(yīng)   
零點(diǎn)percent FS/°C0.0025 0.0025 0.005
滿量程% of reading / °C0.01 0.01 0.01
壓力，kPa (absolute)400 260 130
分辨率percent FS0.003 0.003 0.003
讀數(shù)percent FS0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù)percent FS0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力percent FS0.5 0.5 0.5
溫度   
運(yùn)行（環(huán)境）°C+10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
在法蘭處烘烤°C≤110 ≤110 ≤110
貯存°C–20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
電源電壓+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗   
加熱時W≤12 ≤12 ≤12
運(yùn)行溫度W≤8 ≤8 ≤8
輸出信號（模擬）V (dc)0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時間 (2)ms30 30 130 / 30 (3)
保護(hù)等級IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)   
CE 合規(guī)EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)
CDG045D高精度真空計(jì)     

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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