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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢泰和豐順光電有限公司


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BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計 氦質(zhì)譜檢漏儀

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更新時間：2026-06-12 13:55:14瀏覽次數(shù)：202次

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產(chǎn)品簡介

BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計 INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟的可以測量 5×10-10到 1500 毫巴（3.75×10-10到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在......

詳細介紹

益處

  • BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性
  • 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱絲，防止過早燒毀
  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預
  • 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
  • 易于更換的傳感元件與板載校準數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  • RoHS 合規(guī)

典型應用

  • 半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型BCG450
測量范圍 5×10-10 … 1500
精度 
10-8 … 50 毫巴% of reading±15
50 … 950 毫巴% of reading±5
950 … 1050 毫巴% of reading±2.5
可重復性 
10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
熱離子發(fā)射mbar2×10-2 (high)
（可選高/低，通過 RS232 / 現(xiàn)場總線）mbar8×10-3 (low)
除氣 (1) 
p < 7.2 × 10-6 mbarelectron bombardment, max. 3 min
壓力，bar (absolute)5
溫度 
運行（環(huán)境）°C0 … +50
貯存°C-20 … +70
在法蘭處烘烤°C80
移除烘烤電子設備°C150
電源電壓 20 … 28
輸出信號模擬 
輸出信號V0 … 10.3
測量范圍輸出V0.774 … 10.3
電壓與壓強之間的關系volts per decade0.75
錯誤信號V0.3 / 0.5
最小負載k?10
接口（數(shù)字）(2)RS232C
連接器D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CFcm3 (in.3)24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CFg285 / 550
保護等級IP30
DeviceNet™ 
協(xié)議DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關kBaud125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
電纜長度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
電纜長度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
MAC ID2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡規(guī)模up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規(guī)格DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊polling only
設定點繼電器： 設定點數(shù)量
BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計     


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