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武漢泰和豐順光電有限公司


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HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì) 氦質(zhì)譜檢漏儀

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HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì) INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計(jì) 將高壓熱電離技術(shù)與皮拉尼傳感器整合在一個(gè)單個(gè)緊湊經(jīng)濟(jì)的裝置中，可測(cè)量 2×10-6毫巴至大氣壓（1.5×10-6托至大氣壓）范圍內(nèi)的壓力。 HPG400 型真空計(jì)為精確的濺射過(guò)程壓力控制提供重復(fù)測(cè)量并再現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)。

詳細(xì)介紹

益處

  • HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
  • 高壓熱電離真空計(jì)可以準(zhǔn)確可靠地測(cè)量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過(guò)程控制
  • 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動(dòng)
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過(guò)早燒毀
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

規(guī)格

類型HPG400
測(cè)量范圍（空氣，N2） 2×10-6 … 1000
精度 
10-5 … 1 毫巴% of reading±15 (1)
可重復(fù)性 
10-5 … 10-1 毫巴% of reading2
10-1 … 100 毫巴% of reading30
熱離子發(fā)射，可選： 
選購(gòu)件 1mbar1
選購(gòu)件 2mbar5×10-1
選購(gòu)件 3mbar2×10-1
選購(gòu)件 4mbar1×10-1
選購(gòu)件 5mbar5×10-2
壓力，bar (absolute)2
溫度 
運(yùn)行（環(huán)境）°C0 … +50
貯存°C-20 … +70
在法蘭處烘烤°C80
移除烘烤電子設(shè)備°C150
電源電壓 20 … 28
輸出信號(hào)模擬 
輸出信號(hào)V0 … +10.2
測(cè)量范圍熱陰極V1.5 … 7.5
測(cè)量范圍皮拉尼V8.5 … 9.75
電壓比壓強(qiáng)熱陰極volts per decade1
電壓與壓強(qiáng)皮拉尼volts per decade0.25
錯(cuò)誤信號(hào)熱陰極V0.3
錯(cuò)誤信號(hào)皮拉尼V0.5
最小負(fù)載電阻k?10
接口（數(shù)字）(2)RS232C
電氣連接D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度， (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CFcm3 (in.3)20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CFg430 / 695
保護(hù)等級(jí)IP30
DeviceNet™ 
協(xié)議DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān)kBaud125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
MAC ID2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器
HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì)     


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