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武漢泰和豐順光電有限公司


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加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計 氦質(zhì)譜檢漏儀

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更新時間：2026-06-12 14:04:04瀏覽次數(shù)：179次

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產(chǎn)品簡介

加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計 加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計高溫應(yīng)用性能良好

詳細(xì)介紹

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點
  • 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
  • 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
  • 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過程
  • 需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程

規(guī)格

類型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.2 0.2 0.4
溫度效應(yīng)   
零點percent FS/°C0.0025 0.0025 0.005
滿量程% of reading / °C0.02 0.02 0.02
壓力，kPa (absolute)400 260 130
分辨率percent FS0.003 0.003 0.003
讀數(shù)percent FS0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù)percent FS0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力percent FS0.5 0.5 0.5
溫度   
運行（周圍環(huán)境）（5）°C+10 … +50   
在法蘭處烘烤°C≤110 ≤110 ≤110
貯存°C–20 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗   
加熱時W≤20 ≤15 ≤15
運行溫度W≤14 ≤10 ≤10
輸出信號（模擬）V (dc)0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時間 (2)ms30 30 130 / 30 (3)
保護(hù)等級IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)   
CE 合規(guī)EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) (5)SEMI S2   
加熱式 100~200℃ 電容式膜片真空計     

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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