| 類型 | XTC3/S | XTC3/M |
|---|
| 頻率分辨率 | | ±0.028 Hz @ 6 MHz
| ±0.028 Hz @ 6 MHz
|
| 測量頻率范圍 | | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
| 測量周期 | | 0.25 seconds | 0.25 seconds |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | | ±0.034 ? | ±0.034 ? |
| 測量技術 | | ModeLock | ModeLock |
| 過程數量 | | 1 | 99 |
| 層數 | | 1 | 999 |
| 材料計劃（或薄膜）數量 | | 9 | 32 |
| 傳感器輸入數量 | | 2 | 2 |
| CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 | | Yes | Yes |
| 支持 XTAL 2 開關 | | Yes | Yes |
| 來源輸出數量 | | 2 | 2 |
| 計算機通信 | | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional |
| RS232 波特率 | | 115.2 KBaud | 115.2 KBaud |
| 自動晶體轉換 | | Yes | Yes |
| 繼電器數量 | | 12, Not Event Assignable | 12, Event Assignable |
| 可編程繼電器功能數量 | | 1 | 1 |
| 每個繼電器的功能 | | 1 | 1 |
| 繼電器額定電壓 | | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps |
| 輸入數量 | | 8 TTL, 24VDC Max | 8 TTL, 24VDC Max |
| 可編程輸入功能數量 | | 1, Not Event Assignable | 1, Event Assignable |
| 記錄器輸出數量 | | 1 | 1 |
| 手動電源 / 手持控制器 | | Yes | Yes |
| 排氣管風扇 | | No Exhaust Fan | No Exhaust Fan |
| 測試模式 | | Yes | Yes |
| 閘門延遲 | | Yes | Yes |
| 二次成型模具 | | Yes | Yes |
| 外殼尺寸 | | half rack, 2U high | half rack, 2U high |
| 速率和厚度顯示分辨率 | | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A | |
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