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武漢泰和豐順光電有限公司


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Guardian EIES 控制器 氦質(zhì)譜檢漏儀

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Guardian EIES 控制器 Guardian EIES 控制器可同時(shí)沉積至多八種材料CIGS 薄膜的理想之選Guardian 可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 ?/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個(gè)或兩個(gè)傳感器，最多 8 個(gè)光輸入，并控制最多 8 個(gè)沉積源，因此能夠同時(shí)沉積最多 8......

詳細(xì)介紹

功能

  • 監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時(shí)沉積過(guò)程
  • 從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率
  • 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過(guò)程控制
  • 12 個(gè)繼電器輸出和 16 個(gè)數(shù)字輸入
  • 用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
  • 與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容

規(guī)格

類(lèi)型Guardian EIES Controller
傳感器 
工作壓力<5x10-4 Torr
溫度450° C maximum during operation and/or bakeout
尺寸（近似）0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
絲極壽命（典型值）~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
傳感器饋入件連桿Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
饋入件 / 法蘭One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
檢測(cè)器 
光電倍增管 (PMT)Hamamatsu R7518 or equivalent
光譜響應(yīng)185 to 730 nm
檢測(cè)限值Better than 5 fW of optical input power
PMT 增益103 to 107 (detectors are independently adjustable)
輸出分辨率20-bit
光入射口Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
尺寸2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
控制器 
傳感器

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.
檢測(cè)器Eight optical detector channels
控制輸出Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
數(shù)字 I/O12 relay outputs and 12 logic inputs
功率100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
尺寸19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
合規(guī)性CE
用戶(hù)界面軟件：Windows®-based setup program included with Controller
軟件顯示沉積速率：4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 ?/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
軟件顯示厚度：4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 K?
用戶(hù)自備計(jì)算機(jī)：Any PC with Windows®Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface
Guardian EIES 控制器     

關(guān)鍵詞：過(guò)程控制

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