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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢泰和豐順光電有限公司


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INFICON MPS 殘余氣體分析儀 氦質(zhì)譜檢漏儀

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更新時間：2026-06-12 14:25:24瀏覽次數(shù)：556次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：銷售

產(chǎn)品簡介

INFICON MPS 殘余氣體分析儀 Transpector MPS 殘余氣體分析儀氣體分析標準為一般真空應(yīng)用帶來性能和非凡價值隨著制造技術(shù)的進步和質(zhì)量標準的變更，了解相關(guān)過程和保持產(chǎn)品質(zhì)量比以往任何時候都顯得更為重要。Transpector MPS 能夠通過......

詳細介紹

功能

  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場更換電子倍增器
  • 可現(xiàn)場更換陽極、陰極和反射極絲極組件
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • 模擬掃描和所選峰值的 3 ms 每點數(shù)據(jù)率
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規(guī)格

類型MPS100FMPS100MMPS200FMPS200M
傳感器長度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質(zhì)量范圍100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
檢測器類型FC EM FC EM
靈敏度 (FC)3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM)NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
最小可檢測分壓2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC)200 °C NA 200 °C NA
傳感器工作溫度(EM)NA 150 °C NA 150 °C
絲極類型選件Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)<1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide
溫度系數(shù) (2)<1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C
每點數(shù)據(jù)率3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零沖擊（位于質(zhì)量 2）<100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm
工作壓力5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率輸入20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 時長 8 小時，半小時預(yù)熱時間；僅適用于 FC 模式

INFICON MPS 殘余氣體分析儀     

關(guān)鍵詞：標準 氣體分析儀

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