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O冷式臭氧發(fā)生器

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OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，...

詳細介紹

OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。

特征

高純度臭氧
高臭氧濃度
價格低
無耗材
設計緊湊，模塊化
經(jīng)過驗證的技術

應用

化學氣相沉積 (CVD)

原子層沉積 (ALD)

氧化物生長

表面處理

灰化

顆粒清潔

光刻膠去除

其他

關鍵詞：臭氧發(fā)生器

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