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IN USA 品牌的Gffoz 是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)用來測(cè)量過程臭氧氣體的傳感器，它可以持續(xù)測(cè)量濃度高達(dá)900g/Nm3的臭氧氣體。Gffoz是一臺(tái)潔凈的傳感器，可以用于半導(dǎo)體制程，并且可以在線安...

詳細(xì)介紹

IN USA 品牌的Gffoz是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)用來測(cè)量過程臭氧氣體的傳感器，它可以持續(xù)測(cè)量濃度高達(dá)900g/Nm3的臭氧氣體。Gffoz是一臺(tái)“潔凈”的傳感器，可以用于半導(dǎo)體制程，并且可以在線安裝，允許流量高達(dá)15slpm。
Gffoz采用IN USA公司的創(chuàng)新型的雙光路測(cè)量技術(shù)(獲得),從而具有的性能。
Gffoz典型安裝包含了一臺(tái)控制器(Mini-SCI或SCI-Turbo)，通過信號(hào)線進(jìn)行連接?？刂破魈峁┝穗娫矗谖C(jī)的控制，LCD顯示等。特點(diǎn)包含：0-10VDC和4-20Ma模擬輸出，RS232數(shù)字通訊，遠(yuǎn)程自動(dòng)零點(diǎn)和自動(dòng)溫度壓力補(bǔ)償。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 紫外吸收技術(shù)
◆ 雙光速測(cè)量原理
◆ 無活動(dòng)配件—最小維護(hù)
◆ 壓力和溫度補(bǔ)償
◆ 在線監(jiān)測(cè)
◆ 全流量
◆ 半導(dǎo)體級(jí)別焊接
◆ 控制器最多可以接四個(gè)傳感器

技術(shù)指標(biāo):
傳感器：

◆ 制造商: IN USA INC
◆ 測(cè)量原理：紫外吸收技術(shù),雙光路傳感器
◆ 壓力&溫度：自動(dòng)補(bǔ)償
◆ 紫外線光源：低壓汞燈
◆ 測(cè)量單位：g/m3,g/Nm3,%w/w
◆ 量程： 0-26%w/w(0-900g/m3)@35psi或2.4atm
◆ 重復(fù)性：1g/m3或讀數(shù)1%,取大者
◆ 樣品流量：0.2-15SLPM
◆ 樣品壓力：10-80psi
◆ 壓損：5mBar@10slpm
◆ 焊接材料：316L VAR電拋光不銹鋼，藍(lán)寶石，符合半導(dǎo)體制程要求
◆ 接口: 1/4 inch VCR(其他也可選擇)
◆ 尺寸：130x146x54mm

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