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大容量等離子清洗機

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產(chǎn)品型號V系列

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更新時間：2026-06-24 09:33:18瀏覽次數(shù)：197次

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杭州科瑞達實驗器材有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：102條

所在地區(qū)：浙江杭州市

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產(chǎn)品簡介

高頻輸出：100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）電極尺寸：280×280mm（V1000）/300×300mm（V1000X）/400×375mm（V1000XS）13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式

詳細介紹

高頻輸出：100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）

電極尺寸：280×280mm（V1000）/300×300mm（V1000X）/400×375mm（V1000XS）

13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

■ 用途

● 硅晶圓的灰化及蝕刻

● 基板表面污垢處理

● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理

● 半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗

● 自然氧化膜·有機物去除

● 界面活性處理

● 表面污染物去除。

■ 特征

● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。

● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。

● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

■ 規(guī)格

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等