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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州科瑞達(dá)實驗器材有限公司


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等離子灰化機

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產(chǎn)品型號PR系列

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2026-06-24 09:41:03瀏覽次數(shù):287次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:102條

所在地區(qū):浙江杭州市

聯(lián)系人:銷售

產(chǎn)品簡介

高頻輸出:50~500W反應(yīng)腔:Φ215×305mm低溫等離子·經(jīng)典桶型

詳細(xì)介紹

高頻輸出:50~500W

反應(yīng)腔:Φ215×305mm

低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款,非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

■ 用途

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓,玻璃基板對應(yīng)。

■ 特征

● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

● 小型一體化設(shè)計

● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)

■ 規(guī)格

型號

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

自動協(xié)調(diào)

反應(yīng)部

反應(yīng)腔

石英 Φ215×305mm

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(O2/CF4)

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A



關(guān)鍵詞:觸摸屏
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