詳細(xì)摘要: 平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度
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詳細(xì)摘要: 平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度
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