Jaesung Engineering 提供半導(dǎo)體、化學(xué)、物理、材料和 MEMS 領(lǐng)域所需的解決方案和設(shè)備。 為廣泛領(lǐng)域的光刻技術(shù)提供制造和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備提供了一個(gè)環(huán)境，可以在該環(huán)境中執(zhí)行抗反射涂層、各種聚合物、光刻膠和導(dǎo)電薄膜的各種完整應(yīng)用。
Jaesung JS401 旋涂機(jī) Spin Coater /SPIN COATING SYSTEM
一個(gè)用戶(hù)友好的數(shù)字程序，提供帶有可選光刻膠、EBR、HMDS 或 BSR 的點(diǎn)膠軟件。 JS401 旋涂系統(tǒng)使用方便、結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固耐用，是一種臺(tái)式類(lèi)型，以具有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格提供給需要高性能的客戶(hù)。
落地式也作為選項(xiàng)提供，它配備了自動(dòng)化學(xué)供應(yīng)裝置、HEPA 過(guò)濾器、自動(dòng)排氣系統(tǒng)和晶片對(duì)準(zhǔn)功能。
程序和硬件戴爾
轉(zhuǎn)速重復(fù)性：< 0.05 %
轉(zhuǎn)速分辨率：< 0.05%
基板尺寸（<1 cm - 300 mm 圓形 / 220 x 220 方形）
可靠性
全不銹鋼拋光 304 結(jié)構(gòu)
排空位于碗底部的端口
用于惰性旋轉(zhuǎn)環(huán)境的可選氮?dú)獯祾?/p>
基本自動(dòng)點(diǎn)膠裝置最多可擴(kuò)展至 4 個(gè)（PR、EBR、HMDS、BSR 或開(kāi)發(fā)）
1 年保修（零件和人工）
向客戶(hù)提供無(wú)限的應(yīng)用程序
液晶觸摸屏
20個(gè)工藝程序
每個(gè)程序 20 個(gè)步驟（可通過(guò)軟件選項(xiàng)升級(jí)）
步進(jìn)時(shí)間的 0.1 秒分辨率
加速度和減速度可設(shè)置為 0.1 秒分辨率（可編程斜坡）
旋轉(zhuǎn)速度 0 - 6,000 rpm（10,000 rpm 選項(xiàng)）
旋轉(zhuǎn)速度加速度：
0 - 30,000 rpm/秒卸載
0 - 23,000 rpm/sec，100 mm SI 晶圓
可編程邏輯控制器 (PLC) 系統(tǒng)控制器
限度。晶圓：4" (JS401-100)、6" (JS401-150)、8" (JS401-200)、12" (JS401-300)
可選手動(dòng) PR 分配器、EBR 和顯影劑
可選的手動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)工具
標(biāo)準(zhǔn)同時(shí)分配能力擴(kuò)展到 4 個(gè)單位（帶壓力罐）
-- 光刻膠、EBR、HMDS、BSR 或顯影
安全性：真空吸盤(pán)聯(lián)鎖
可選地板類(lèi)型：HEPA 過(guò)濾器、排氣自動(dòng)阻尼器和晶圓裝載對(duì)齊
帶有擺動(dòng)噴嘴的可選自動(dòng)點(diǎn)膠裝置
Jaesung JS401-150 旋涂機(jī) Spin Coater
JS401-150 臺(tái)式系列小型基材旋涂機(jī)專(zhuān)為各種手動(dòng)和自動(dòng)研發(fā)過(guò)程中的多功能性、易用性和安全性而設(shè)計(jì)。旋涂機(jī)非常適合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂層和顯影等工藝。
● 精確的溫度控制
● 易于使用
● 可重復(fù)的性能
● 靈活性
● 經(jīng)濟(jì)的臺(tái)式系統(tǒng)中的可編程性。
規(guī)格
可編程 20 個(gè)步驟，存儲(chǔ) 20 個(gè)配方
PLC和觸摸屏操作
準(zhǔn)確度 +- 1 RPM
轉(zhuǎn)速：6,000
加速度：3,000RPM/秒。
加速和減速可設(shè)置為 0.1 秒。
SUS304 主體和碗，易于清潔和耐化學(xué)性
排水口
碗的透明 PC 蓋
150mm直徑板
標(biāo)準(zhǔn)干式真空泵：100 升/分鐘，0.5 ATM
標(biāo)準(zhǔn)樣品夾頭
尺寸 370W x 370D x 375H 毫米
220VAC，60Hz，5安培
重量：25 公斤
會(huì)員1.png)
汾阳市|
金阳县|
凤阳县|
米泉市|
霍州市|
福海县|
衡阳县|
容城县|
宝鸡市|
河间市|
绥德县|
秦皇岛市|
汉中市|
横峰县|
新蔡县|
温泉县|
陵水|
蚌埠市|
梨树县|
元氏县|
兴安盟|
大洼县|
蛟河市|
岗巴县|
博乐市|
红河县|
平邑县|
肥西县|
吴旗县|
六安市|
彰化县|
北宁市|
墨江|
潞西市|
靖州|
那坡县|
乐山市|
泾川县|
长武县|
翼城县|
三台县|