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JAESUNG JS301-150 旋涂機(jī) Spin Coater

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2026-03-25 09:17:37瀏覽次數(shù):37次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

JS301-150 臺(tái)式系列小型基材旋涂機(jī)專(zhuān)為各種研發(fā)過(guò)程中的多功能性、易用性和安全性而設(shè)計(jì)。該旋涂機(jī)非常適合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂層和顯影等工藝。

詳細(xì)介紹

JAESUNG JS301 旋涂系統(tǒng)

旋涂機(jī) JS301

filename

用戶友好的模擬可編程 JS301 模型為客戶的重要實(shí)驗(yàn)提供了準(zhǔn)確性和可靠性。 JS301臺(tái)式旋涂系統(tǒng)、易于使用、結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固耐用,以具有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格提供給需要各種實(shí)驗(yàn)和高性能的客戶。


引腳精度

旋轉(zhuǎn)速度重復(fù)性:< 1 %

旋轉(zhuǎn)速度分辨率:< 1 %

基板尺寸(<1 cm - 300 mm round / 220 x 220 square) 涂布機(jī)型號(hào) JS401 是 Jaesung Engineering 的基本產(chǎn)品。


可靠性

PP 和不銹鋼 304 結(jié)構(gòu)

1 年保修(零件和人工)

向客戶提供無(wú)限的應(yīng)用程序

程序和硬件

數(shù)字轉(zhuǎn)速顯示和 3 個(gè)數(shù)字計(jì)時(shí)器

限度。晶圓:4" (JS301-100)、6" (JS301-150)、8" (JS301-200)

每個(gè)程序 3 個(gè)步驟

步進(jìn)時(shí)間的 1 秒分辨率

旋轉(zhuǎn)速度 4 - 6,000 rpm

旋轉(zhuǎn)速度加速度:

0 - 10,000 轉(zhuǎn)/秒卸載

0 - 6,000 rpm/sec,100 mm SI 晶圓

堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)

安全性:真空吸盤(pán)聯(lián)鎖


JAESUNG JS301-150 旋涂機(jī) Spin Coater

JS301-150 臺(tái)式系列小型基材旋涂機(jī)專(zhuān)為各種研發(fā)過(guò)程中的多功能性、易用性和安全性而設(shè)計(jì)。該旋涂機(jī)非常適合硅晶片、玻璃、大型光掩模、掩模版的涂層和顯影等工藝。

● 堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)

● 易于使用

● 可重復(fù)的性能

● 靈活性

● 經(jīng)濟(jì)的臺(tái)式系統(tǒng)


規(guī)格

可編程 3 步,3 種速度

數(shù)字轉(zhuǎn)速計(jì)和計(jì)時(shí)器

準(zhǔn)確度 +- 1 % 在設(shè)定的 RPM

轉(zhuǎn)速:6,000

加速度:3,000RPM/秒。

SUS304 主體和碗,易于清潔和耐化學(xué)性

排水口

碗的透明 PC 蓋

直徑 150mm & 100x100mm 板

標(biāo)準(zhǔn)干式真空泵:100 升/分鐘,0.5 ATM

標(biāo)準(zhǔn)樣品夾頭

尺寸 350W x 450D x 275H mm

220VAC,60Hz,3安培

重量:20公斤



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