目前，MEMS技術(shù)已寫入國家“十四五”規(guī)劃等重要政策文件中，各地方政策對MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)扶持力度也非常大，上馬建設(shè)多條MEMS產(chǎn)線/中試線，中國傳感器產(chǎn)業(yè)迎來了蓬勃發(fā)展的春天，MEMS技術(shù)對傳感器產(chǎn)業(yè)的影響至關(guān)重要。
（1）MEMS傳感器及微系統(tǒng)
創(chuàng)建了可擴展的 MEMS 器件加工平臺 ，解決了系列 MEMS 器件加工的難題，“面向典型器件的體硅 MEMS 加工平臺及其應(yīng)用”于 2019 年獲高 等學(xué)?？茖W(xué)研究優(yōu)秀成果獎技術(shù)發(fā)明獎一等獎。
完成了 MEMS 繼電器、RF MEMS 開關(guān) ，用于環(huán)境感知的 MEMS 智能感知微系統(tǒng) ，惡劣環(huán)境下的 MEMS 高溫?zé)o線傳感微系統(tǒng) ，MEMS 掃描鏡及目標(biāo)探測微系統(tǒng)，微型 MEMS 儲能器件及能源微系統(tǒng)等。
其中超高過載自供電 MEMS 傳感器及集成微系統(tǒng)在次通過實測驗證，空白，相關(guān)技術(shù)被國內(nèi)多家重點單位應(yīng)用并產(chǎn)業(yè)化，“基于微納米技術(shù)的新型超級電容器及其實現(xiàn)”獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎。
2）空間微系統(tǒng)及微納航天器
提出高精度姿態(tài)/軌道測量新方法并研制了MEMS磁敏感器、MIMU 慣性微系統(tǒng)、MEMS太陽敏感器 、納/皮型星敏感器等空間微系統(tǒng) ，相關(guān)成果多項，已在探月工程、高分專項等國家重大工程以及國內(nèi)外百余顆型號衛(wèi)星中得到應(yīng)用推廣，并實現(xiàn)了出口歐、美、日等國。
在我國開展了微納航天器的技術(shù)創(chuàng)新與工程實踐 ，將三軸穩(wěn)定方式用于 25 kg 以下的微小衛(wèi)星，成功研制并運行了顆納型衛(wèi)星 NS-1 衛(wèi)星，也是當(dāng)時世界上在軌飛行的最小“輪控三軸穩(wěn)定衛(wèi)星”（2004 年）。
2015 年研制并發(fā)射了 NS-2（10 公斤量級）MEMS 技術(shù)試驗衛(wèi)星 ，成功開展了基于 MEMS 的空間微型化器組件試驗研究。NS-2 衛(wèi)星的有效載荷包括納型星敏感器 、低功耗 MEMS 太陽敏感器 、硅基 MEMS 陀螺 、MEMS 石英音叉陀螺 、MEMS 磁強計 、北斗- II/ GPS 接收機等自主研發(fā)的 MEMS 器件及微系統(tǒng)。
（3）生物檢測微系統(tǒng)方面
圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測、人工聽覺微系統(tǒng)等方向，突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選、耳蝸內(nèi)聲電混合刺激、高時空分辨率相位差 分檢測等一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù) ，取得了一批原創(chuàng)性成果 ，研制了具有水平的高通量原位細胞多模式檢測系統(tǒng)、流式細胞儀、系列流 式細胞檢測芯片等檢測儀器 ，打破了相關(guān)領(lǐng)域國際 廠商的技術(shù)和壟斷。
總之 ，面向國家安全和醫(yī)療健康領(lǐng)域的重大需求，經(jīng)過多年持續(xù)的努力，我們?nèi)〉靡幌盗芯哂兴降目蒲谐晒?，部分技術(shù)處于地位， 其中多項核心技術(shù)尚屬國際。傳感器技術(shù)與計算機技術(shù)、通信技術(shù)作為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱，也是計算機技術(shù)與通信技術(shù)的基礎(chǔ) ，核心傳感器的元器件更是工業(yè)基石.傳感器的重要性體現(xiàn)在：它是信息獲取的源頭 、物理世界與數(shù)字世界的接口。傳感器可以把環(huán)境中的物理、化學(xué)量等被測信息轉(zhuǎn)化為電信號 ，而 MEMS 技術(shù)則可將傳感器中機械結(jié)構(gòu)與電路系統(tǒng)通過規(guī)?；圃旃に嚰稍谛?片上 ，因而MEMS技術(shù)是傳感器的使能技術(shù)。后期消費類MEMS傳感器開始“反哺”汽車領(lǐng)域，比如基于消費市場更早出現(xiàn)高集成度的趨勢，“汽車也有這樣的趨勢，就像以前只有兩軸陀螺儀，現(xiàn)在自動駕駛需要六軸傳感器——這些我們已經(jīng)在消費產(chǎn)品中做好了準(zhǔn)備”；另外還有汽車不同的電子元器件越來越有低功耗需求，“我們在消費類產(chǎn)品上已經(jīng)積累了很多低功耗設(shè)計的經(jīng)驗在 “MEMS”一詞出現(xiàn)之前 ，深硅刻蝕、諧振器、電容檢測等 MEMS 技術(shù)就早已應(yīng)用于微傳感器中；隨著20世紀(jì)90年代以來的 MEMS 技術(shù)快速發(fā)展期 ，基于MEMS技術(shù)的各種微傳感器大發(fā)異彩 ，已經(jīng)成為傳感器技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向與發(fā)展趨勢。進入新世紀(jì)，特別是近10年以來，微電子 、MEMS、光電子技術(shù)的不斷突破 ，人工智能 、無線通訊等科技的興起 ，智能微系統(tǒng)技術(shù)又成為了智能傳感器的關(guān)鍵核 心技術(shù) ，推動傳感器在社會生產(chǎn)生活中發(fā)揮越來越重要的作用。簡單的接近傳感器可檢測物體對象之間的距離，可用于多種應(yīng)用，從簡單的門窗開關(guān)檢測到復(fù)雜的高精度位置檢測器，應(yīng)用廣泛。接近傳感器可采用多種方式設(shè)計，其中一種涉及檢測磁體（通常為永磁體，但也可能是電磁體）產(chǎn)生的磁場強度。在本次實驗中，我們使用鐵氧體磁芯螺線管產(chǎn)生磁場。螺線管是一種以圓柱形方式纏繞著磁芯（通常用于制造具有特定電感值的電感）或電磁體的線圈。從技術(shù)發(fā)展的角度來講 ，早期的智能傳感器大都是指傳統(tǒng)傳感器加入處理器 ，帶有數(shù)據(jù)處理功能的傳感器；發(fā)展到現(xiàn)在，隨著 MEMS 技術(shù)、通訊技術(shù)、 計算機技術(shù)，特別是微系統(tǒng)技術(shù)、人工智能等前沿技 術(shù)的交叉融合，基于微系統(tǒng)技術(shù)的智能傳感器，不僅具有傳感、處理、通訊等功能，還能實現(xiàn)自供電、自組網(wǎng)、自校準(zhǔn)、自學(xué)習(xí)等智能化的功能、性能?；谖⑾到y(tǒng)技術(shù)的智能傳感器將在各個領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，除了航空航天、裝備等事關(guān)國防安全、重大工程的國家戰(zhàn)略領(lǐng)域之外，在醫(yī)療健康、汽車 電子、消費電子、物聯(lián)網(wǎng)等事關(guān)社會經(jīng)濟發(fā)展及民生領(lǐng)域等也都離不開智能傳感器。然而由于我國目前微系統(tǒng)與智能傳 感器領(lǐng)域的核心關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展滯后 ，中傳感器受制于人 ，已經(jīng)成為“卡脖子”障礙。ADALP2000模擬部件套件 中的100 μH電感用于產(chǎn)生足夠強的磁場，并且能夠被該套件中集成的 AD22151 磁場傳感器檢測到。AD22151是一款線性磁場傳感器，其輸出電壓與垂直施加于封裝上表面的磁場成比例。AD22151磁場傳感器的工作原理基于霍爾效應(yīng)。在磁場環(huán)境下，當(dāng)電流流經(jīng)某個導(dǎo)體時，導(dǎo)體兩端就會產(chǎn)生電壓（霍爾電壓），這種現(xiàn)象就是霍爾效應(yīng)。運動電荷在磁場中受洛倫茲力作用會發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而形成電場，產(chǎn)生霍爾電壓。我國自主生產(chǎn)的傳感器已可以滿足低端市場的需求 ，然而在中市場上，超過60%的被國外愛默生、 西門子、博世、意法半導(dǎo)體、霍尼韋爾等外國占據(jù)，特別是產(chǎn)品幾乎全靠進口，80%的傳感器芯片依賴國外。運動傳感器和智能傳感器系統(tǒng)、環(huán)境傳感器、聲學(xué)微系統(tǒng)、顯示解決方案。應(yīng)用到包括智能手機、耳穿戴設(shè)備（所謂的hearables）、可穿戴設(shè)備、AR/VR眼鏡及頭盔、筆記本和平板電腦、機器人與無人機、游戲和電視，以及物聯(lián)網(wǎng)/白色家電/智能家居。
