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FS5001L系列氣體流量傳感器(FS5001L-200/FS5001L-500/FS5001L-1000/FS5001L-4000/6000)氣體流量傳感器

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產(chǎn)品簡介

FS5001L系列氣體流量傳感器(FS5001L-200/FS5001L-500/FS5001L-1000/FS5001L-4000/6000)氣體流量傳感器

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FS5001L系列氣體流量傳感器

產(chǎn)品描述:

FS5001L系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實(shí)現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。