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FS5001L-6000氣體流量傳感器/Siargo/FS5001L-6000sccm氣體流量傳感器

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廣州海倫儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FS5001L-6000氣體流量傳感器/Siargo/FS5001L-6000sccm氣體流量傳感器

詳細(xì)介紹

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FS5001L系列氣體流量傳感器

產(chǎn)品描述:

FS5001L系列氣體流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實(shí)現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。