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氣體質(zhì)量流量計(jì) SFM5400

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氣體質(zhì)量流量計(jì)SFM5400適用于多種應(yīng)用的多功能流量計(jì)SFM5400質(zhì)量流量計(jì)具有的精度（誤差＜1%）、可重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性，寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍

詳細(xì)介紹

氣體質(zhì)量流量計(jì) SFM5400

適用于多種應(yīng)用的多功能流量計(jì)

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)具有的精度（誤差＜1%）、可重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性，寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍。SFM5400由金屬制成，且高度可配置。它采用多種機(jī)械連接和電氣接口，可測(cè)量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號(hào)可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字、*校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償?shù)男盘?hào)。多個(gè)氣體校準(zhǔn)可以存儲(chǔ)在一個(gè)器件中。此外，流量計(jì)可以檢查激活的氣體校準(zhǔn)是否與實(shí)際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens® 技術(shù)，它在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號(hào)處理電路。結(jié)合優(yōu)質(zhì)材料，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)持久穩(wěn)定、快速和高精度的質(zhì)量流量計(jì)。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)是SFC5400質(zhì)量流量控制器的無(wú)閥門版本。SFC5400質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)具有相同的性能特性，并適用于類似的應(yīng)用，這兩個(gè)產(chǎn)品可以結(jié)合在一起。在SFC5400 網(wǎng)站，你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進(jìn)一步信息和詳細(xì)規(guī)格。

性能參數(shù)

  • 高精度、低流量（< 1 sccm）
  • 優(yōu)良的精度/可重復(fù)性（分別為測(cè)量值的0.8% / 0.1%）
  • 寬動(dòng)態(tài)范圍（量程比1000:1）
  • 多氣體和氣體識(shí)別
  • 數(shù)字和模擬接口
  • 柔性機(jī)械連接選項(xiàng)：down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
  • 高度可配置
  • MTBF169年-無(wú)需再校準(zhǔn)

應(yīng)用

  • 分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
  • 科研（如、）
  • 工業(yè)過程自動(dòng)化（如涂覆、熱處理）
  • 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
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