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MIT光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)(wafer測(cè)試) 色差儀

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◆功能：主要針對(duì)wafer上每Die逐片點(diǎn)燈以進(jìn)行光學(xué)性能

詳細(xì)介紹

◆功能：
主要針對(duì)wafer上每Die逐片點(diǎn)燈以進(jìn)行光學(xué)性能，電氣性能 AOI檢測(cè)

◆規(guī)格：
wafer Probe：支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自動(dòng)上下料
客制化Prober Card，支持單通道&多通道測(cè)試
搭載151M光學(xué)光譜儀鏡頭，支持8K分辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測(cè)試
主動(dòng)防震臺(tái)支持VC-D/F等級(jí)
支持CIM&MES系統(tǒng)整合

◆特點(diǎn):
·晶圓光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，8&12inch各種材質(zhì)晶圓;
·自動(dòng)三軸運(yùn)動(dòng)控制;
·Wafer上下料，自動(dòng)對(duì)位，自動(dòng)測(cè)試;
·多功能夾具，支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載，支持AOI與光學(xué)測(cè)試。

項(xiàng)目	規(guī)格
尺寸	長(zhǎng)寬高2.84m1.90m*2.40m
測(cè)試樣品大小	8”&12" wafer
光譜儀	CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3
相機(jī)	4300萬,高分辨率CCD
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)	采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺桿
功能	色度、亮度、均勻性、光譜測(cè)試等;支持:點(diǎn)、線面缺陷測(cè)試, mura測(cè)試
信號(hào)	支持特儀自制信號(hào)機(jī)以及市面通用品牌信號(hào)機(jī),支持客制化信號(hào),信號(hào)格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等
電源	支持高精度多路直流電源輸出,以及客制化電源需求
軟件	特儀自主開發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化,操作簡(jiǎn)單, UI界面可依據(jù)客戶需求進(jìn)行定制,軟件自帶各標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試手法,可以通過直接調(diào)用模式進(jìn)行測(cè)試

關(guān)鍵詞：光譜儀防震臺(tái) 直流電源標(biāo)準(zhǔn)

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