
專門研發(fā)的一款上照式膜厚測(cè)試儀。儀器外觀簡(jiǎn)潔大方,通過(guò)自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng),雙激光定位和保護(hù)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡(jiǎn)單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對(duì)焦精準(zhǔn)分析。
性能優(yōu)勢(shì)
配置——采用高分辨率SDD探測(cè)器;分辨率高達(dá)140eV
上照式設(shè)計(jì)——實(shí)現(xiàn)微小不規(guī)則表面樣品如弧形,拱上照式設(shè)計(jì)形,凹槽,螺紋等異形的快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效檢測(cè)
高精度自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的聯(lián)動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精準(zhǔn)對(duì)焦快速檢測(cè)
采用高度自動(dòng)定位激光,可快速精準(zhǔn)定位測(cè)試高度,以滿足不同尺寸的鍍層測(cè)試
多種準(zhǔn)直孔可供選擇——準(zhǔn)直孔:0.05*0.3mm;Ф0.1mm;Ф0.2mm;Ф0.3mm;Ф0.5mm
定位精準(zhǔn)——樣品可快速精準(zhǔn)定位
操作簡(jiǎn)易——全自動(dòng)智能集成設(shè)計(jì),讓檢測(cè)輕松完成
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