概述
   福祿克DHI的流量校驗(yàn)儀molbloc/ molbox是專門針對(duì)氣體微小流量應(yīng)用的流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。molbloc/molbox 流量校準(zhǔn)系統(tǒng)基于一項(xiàng)擁有的新型氣體層流測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用了現(xiàn)代化的測(cè)量、數(shù)學(xué)模型，數(shù)據(jù)處理和制造工藝。molbloc/molbox為氣體流量標(biāo)準(zhǔn)的性能和便利性建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。molbloc/molbox已經(jīng)被各個(gè)領(lǐng)域廣泛接受和認(rèn)可——半導(dǎo)體、光纖、醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，被作為參考來保證氣體流量測(cè)量的完整性。 
   molbloc/molbox覆蓋了從小到1 sccm到100 slm以上的流量范圍，對(duì)各種氣體的準(zhǔn)確度可達(dá)到讀數(shù)的± 0.2 %。其1秒的刷新率使得根據(jù)真正的流量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)測(cè)量和測(cè)試儀器進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整次成為了可能。molbloc/molbox結(jié)構(gòu)緊湊，易于搬運(yùn)，可利用全功能前面板本地操作，或者通過其RS232和IEEE-488接口進(jìn)行遠(yuǎn)程操作。 
   molbloc/molbox的配置和附件可支持各種氣體流量的測(cè)試和測(cè)量。molbloc/molbox可被集成到系統(tǒng)中對(duì)過程儀器進(jìn)行在線檢查，其便于搬運(yùn)的特性使其可作為現(xiàn)場(chǎng)審計(jì)或檢查標(biāo)準(zhǔn)，以及配以附件來建立完整的自動(dòng)氣體流量校準(zhǔn)臺(tái)。molbloc/molbox系統(tǒng)可測(cè)試和校準(zhǔn)各種各樣的流量裝置，包括MFC質(zhì)量流量控制器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體渦輪流量計(jì)，等等。
嚴(yán)格符合證明的氣體定律
   molbloc/molbox流量測(cè)量原理遵循已經(jīng)建立的層流理論。按照的氣流規(guī)律，已知?dú)怏w在層流態(tài)下的流量可由流徑的幾何形狀、氣體壓力和溫度計(jì)算獲得。


層流狀態(tài)下的可知?dú)怏w速率分布

   molbloc/molbox的層流測(cè)量設(shè)計(jì)采用了現(xiàn)代化的傳感器、數(shù)學(xué)模型和數(shù)據(jù)處理技術(shù)，其穩(wěn)定度和精度達(dá)到了自氣體層流理論以來的水平，并且已經(jīng)獲得美國(guó)和國(guó)際保護(hù)。 
   這種組合提高了對(duì)氣壓和溫度的認(rèn)識(shí)，對(duì)流量通道做出了更好的解釋，從而能夠利用氣體在實(shí)際流動(dòng)條件下的熱力學(xué)特性對(duì)流量進(jìn)行全面、實(shí)時(shí)地計(jì)算。 
*的壓力和溫度測(cè)量技術(shù)
   基于層流原理的流量測(cè)量不確定度高度依賴于差壓、氣體密度和粘度，進(jìn)而依賴于流動(dòng)氣體的壓力和溫度的不確定度。molbloc/molbox開創(chuàng)了壓力和溫度測(cè)量的新紀(jì)元。 
   molbloc層流元件上游氣體（P1）和下游氣體（P2）的壓力通過壓力穩(wěn)定倉(cāng)采樣，并由位于molbox流量終端內(nèi)的絕壓傳感器測(cè)得。在molbox1中，傳感器采用較新成果的晶振技術(shù)，分辨率達(dá)到了1 ppm，穩(wěn)定度達(dá)到了± 0.01 %/年。上游和下游傳感器讀數(shù)經(jīng)過平均來確定氣壓。兩個(gè)壓力讀數(shù)之差則為molbloc兩側(cè)的差壓。內(nèi)部molbox閥門和一種自動(dòng)“配衡"功能可使兩個(gè)傳感器的測(cè)量差可隨時(shí)自動(dòng)調(diào)零，從而不受當(dāng)前流動(dòng)條件的影響。 
   設(shè)計(jì)大大改善了通過molbloc層流元件的氣體溫度的測(cè)量過程。該技術(shù)并不測(cè)量進(jìn)入或流出層流元件的氣體的溫度，而是將氣體強(qiáng)制為molbloc的溫度，并測(cè)量molbloc的溫度。molbloc較大的熱損耗，以及molbloc環(huán)形流徑所產(chǎn)生的非常大的“金屬－氣體"接觸面積，導(dǎo)致氣體與molbloc的溫度相同。在氣體流過molbloc時(shí)，就會(huì)發(fā)生等溫氣體膨脹。等溫點(diǎn)的溫度是通過測(cè)量molbloc的溫度確定的。molbloc的溫度是利用兩個(gè)對(duì)稱嵌入到molbloc中的鉑電阻溫度計(jì)（PRT）精密測(cè)得的。PRT是由molbox中的歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取的，該系統(tǒng)可利用板載參考電阻器進(jìn)行自校準(zhǔn)。這樣的組合能夠以優(yōu)于± 0.1 ℃的準(zhǔn)確度測(cè)得流過molbloc的氣體溫度。
出眾的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
   傳遞標(biāo)準(zhǔn)的作用是可靠地將參考值從基準(zhǔn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)傳遞到其它設(shè)備。作為這一角色，傳遞標(biāo)準(zhǔn)較為重要的特性就是長(zhǎng)期的穩(wěn)定性。molbloc/molbox的穩(wěn)定性取決于三個(gè)參數(shù)：a) molbloc的層流路徑幾何形狀；b)氣體壓力測(cè)量值；c)氣體溫度測(cè)量值?；趍olbox1的molbloc/molbox系統(tǒng)的穩(wěn)定性指標(biāo)為（± 0.1%讀數(shù)/年）。


molbloc氣體和溫度測(cè)量

    molbloc的層流路徑是molbloc中心孔與molbloc活塞之間的間隙，該流徑是由兩塊實(shí)心的不銹鋼部件確定的。在大量程molbloc中，活塞由基于中心支架的對(duì)稱彈性變形的固定系統(tǒng)牢固地固定在氣缸內(nèi)；在小量程molbloc中，氣隙比較小，即使活塞的微小移動(dòng)都會(huì)引起流徑的明顯變化，活塞是通過與氣缸的過盈配合固定的。流徑的幾何形狀被設(shè)計(jì)為使氣體能夠直通過簡(jiǎn)單的形狀，使污染物聚集的機(jī)會(huì)降至較小。所有接觸面均被電解拋光為0.15 mRa，從而避免氣體中堆積微粒污染。 
   每個(gè)molbox都有*相同的上游和下游壓力傳感器。在molbox1中，這些傳感器的穩(wěn)定度可達(dá)± 0.01 %年。當(dāng)壓力傳感器每次差分調(diào)零時(shí)，會(huì)彼此進(jìn)行對(duì)比，并提醒用戶可能存在的過度漂移。 
   用以測(cè)量molbloc溫度的鉑電阻溫度計(jì)（PRT）是由molbox的歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取的。在每個(gè)molbox上電時(shí)，一個(gè)自動(dòng)程序會(huì)根據(jù)板載的參考電阻器校準(zhǔn)歐姆測(cè)量系統(tǒng)，參考電阻的三年期穩(wěn)定度為± 0.005 %。這一組合提供的溫度讀數(shù)穩(wěn)定度優(yōu)于± 0.01 %/年。為防止損壞或失效，兩個(gè)PRT的溫度讀數(shù)也會(huì)定期進(jìn)行彼此對(duì)比，從而判斷是否差異太大。
出眾的量程范圍比
   molbloc/molbox具有非常高的量程范圍比，使其在配置用來覆蓋非常寬范圍的被校準(zhǔn)設(shè)備的系統(tǒng)時(shí)非常有效。 molbloc/molbox的流量測(cè)量不確定度是流量讀數(shù)而非molbloc的滿量程。 
   優(yōu)于典型被校準(zhǔn)設(shè)備的不確定度的滿量程，所以molbloc的一個(gè)量程即可用來校準(zhǔn)各種量程的設(shè)備。例如，一個(gè)采用molbox1的5 slm molbloc來校準(zhǔn)± 1 %FS的設(shè)備，對(duì)于量程介于500 sccm和5 slm之間的任何設(shè)備，測(cè)量準(zhǔn)確度比率可達(dá)5:1或更好。利用molbox RFM，僅使用兩個(gè)molbloc，從1 sccm到10 slm，測(cè)量不確定度可達(dá)到± 0.5 % 讀數(shù)。molbloc/molbox的量程比降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性和購(gòu)置成本，以及隨后的校準(zhǔn)費(fèi)用。 


molbloc流量測(cè)量不確定度

連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)
   在任何瞬間通過層流元件的質(zhì)量流量都與元件兩端的壓力差成正比，與基于體積或壓力變化速率的系統(tǒng)不同，通過層流元件的流量測(cè)量與時(shí)間無關(guān)。這就使得molbloc/molbox能夠以每秒鐘1次的頻率提供流量讀數(shù)，并且*達(dá)到系統(tǒng)的整體精度和較小不確定度。 
   實(shí)時(shí)讀數(shù)使得它能夠在無需等待完成測(cè)量周期或復(fù)位，即可收集測(cè)試或校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。實(shí)時(shí)讀數(shù)能夠馬上反映出被測(cè)設(shè)備調(diào)整的效果。實(shí)時(shí)讀數(shù)能力還使得 molbloc/molbox能夠被用于主動(dòng)測(cè)量應(yīng)用，例如混合參考?xì)獾恼{(diào)配。 
    層流元件的連續(xù)、實(shí)時(shí)讀數(shù)能力使其非常適合于檢查或校準(zhǔn)流量積算裝置。 molbloc/molbox能夠在不中斷的情況下測(cè)量任何時(shí)間周期的總流量。
支持多種氣體
   molbloc/molbox可測(cè)量各種氣體的流量，包括普通惰性氣體及各種工業(yè)過程和校準(zhǔn)替代用氣體。 
   Molbox的存儲(chǔ)器中保存了各種氣體所的完整熱力學(xué)特性。當(dāng)選擇某種氣體時(shí)，就會(huì)調(diào)用并應(yīng)用這些特性。在任何時(shí)候均可通過molbox的前面板或遠(yuǎn)程命令直接選擇氣體。在采用新的氣體時(shí)，一項(xiàng)自動(dòng)清潔功能會(huì)清除molbox氣壓管路中的舊氣體。
*的隨機(jī)自帶功能
   為*基本的流量測(cè)量能力并使系統(tǒng)發(fā)揮較大的效力，molbox提供了各種各樣的功能和特殊特性，包括以下的工作特性：
以28種質(zhì)量和體積流量單位測(cè)量和顯示，包括用戶定義的單位
可選擇超過18種的不同氣體
實(shí)時(shí)顯示molbloc壓力和溫度
顯示分辨率可調(diào)節(jié)
依賴于穩(wěn)定性的全時(shí)“就緒/未就緒" 指示
更換氣體時(shí)的自動(dòng)清潔程序
智能檢測(cè)內(nèi)部和外部的泄漏
過壓監(jiān)控和自保護(hù)系統(tǒng) 
molbox吹掃功能顯示

還包括如下的高級(jí)功能：
具有可調(diào)時(shí)間周期的平均和標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算功能
Hi/Lo監(jiān)測(cè)
可調(diào)時(shí)間周期的流量積算功能
用兩種不同的流量測(cè)量單位同時(shí)顯示
MFC控制和測(cè)量，流量和％FS轉(zhuǎn)換 （molbox1選項(xiàng)）
密碼保護(hù)數(shù)據(jù)安全 

流量積算功能顯示

   由于molbox的嵌入軟件保存在FLASH存儲(chǔ)器內(nèi)，所以就使molbox能夠擁有較新特性并且*免費(fèi)。DHI的網(wǎng)站（）會(huì)提供定期的軟件更新和升級(jí)，用戶可免費(fèi)下載和安裝。 
計(jì)算機(jī)輔助自動(dòng)校準(zhǔn)
    COMPASS for molbox校準(zhǔn)輔助軟件使molbloc/molbox的自動(dòng)校準(zhǔn)提升到了新臺(tái)階。COMPASS for molbox和一臺(tái)連接了molbloc/molbox的個(gè)人計(jì)算機(jī)可形成一代化全功能的流量裝置校準(zhǔn)和測(cè)試的交鑰匙系統(tǒng)。 
   COMPASS可設(shè)置被測(cè)設(shè)備（DUT）的記錄、定義并關(guān)聯(lián)DUT的測(cè)試方法、運(yùn)行測(cè)試、采集參考和測(cè)試數(shù)據(jù)、生成標(biāo)準(zhǔn)和自定義的校準(zhǔn)報(bào)告。所有的參考數(shù)據(jù)、DUT和測(cè)試數(shù)據(jù)都是以標(biāo)準(zhǔn)的符號(hào)分隔文件格式采集和儲(chǔ)存的，可方便地下載到其它應(yīng)用程序。


COMPASS? for molbox的主運(yùn)行屏幕顯示


    COMPASS的功能遠(yuǎn)多于簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)采集和作為測(cè)試順序工具，它也包括專門的數(shù)據(jù)減縮功能，可支持隨流量設(shè)備而定的壓力和溫度，例如轉(zhuǎn)子流量計(jì)、渦輪流量計(jì)和體積流量計(jì)。
從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到完整的校準(zhǔn)系統(tǒng)
   有兩種molbox型號(hào)和各種附件可供選擇，molbloc/molbox所提供的測(cè)量能力可適應(yīng)從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到交鑰匙式自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)的各種應(yīng)用。 molbox RFM和一個(gè)molbloc可配置成簡(jiǎn)單、成本相對(duì)較低的參考流量計(jì)，其在 1％～100％滿量程范圍內(nèi)的測(cè)量不確定度可達(dá)到讀數(shù)的±0.5%；用molbox1、 MFC選項(xiàng)、Molstic安裝臺(tái)和COMPASS 軟件可組成一套交鑰匙式的全自動(dòng)質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。
流量校驗(yàn)儀主要產(chǎn)品
型號(hào)說明
molbox1
質(zhì)量流量終端：
流量測(cè)量不確定度為±0.2%讀數(shù)
*性能，基于石英晶振壓力傳感器
2路molbloc通道，可同時(shí)連接2個(gè)molbloc，并可利用A_B功能鍵在2路之間進(jìn)行切換。還支持A+B和A/B測(cè)量功能集成模擬MFC測(cè)量和控制選件，用來切換多個(gè)通道的開關(guān)盒閥門驅(qū)動(dòng)選件（8路可切換，12V輸出）

molboxlFM
質(zhì)量流量終端：
流量測(cè)量不確定度為±0.5%讀數(shù)
微量程選件，在molbloc滿量程的10%以下時(shí)，可減小測(cè)量不確定度
微機(jī)械硅壓阻壓力傳感器
結(jié)構(gòu)緊湊
成本低于molboxl

mobloc
層流元件：
Molbloc是用于molbox質(zhì)量流量終端的層流元件。Molbloc的流經(jīng)為縱向的環(huán)形縫隙，介于molbloc內(nèi)部的一個(gè)活塞和密封圓柱裝配孔之間。通過調(diào)整同一機(jī)身內(nèi)的活塞的直徑，從而改變環(huán)形縫的大小即可得到不同量程的molbloc。對(duì)于高流量量程（IE4及以上流量范圍），采用一個(gè)具有更大圓柱孔較大molbloc機(jī)身。

概述
   福祿克DHI的流量校驗(yàn)儀molbloc/ molbox是專門針對(duì)氣體微小流量應(yīng)用的流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。molbloc/molbox 流量校準(zhǔn)系統(tǒng)基于一項(xiàng)擁有的新型氣體層流測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用了現(xiàn)代化的測(cè)量、數(shù)學(xué)模型，數(shù)據(jù)處理和制造工藝。molbloc/molbox為氣體流量標(biāo)準(zhǔn)的性能和便利性建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。molbloc/molbox已經(jīng)被各個(gè)領(lǐng)域廣泛接受和認(rèn)可——半導(dǎo)體、光纖、醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)、發(fā)電、參考?xì)怏w配方、研究和標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，被作為參考來保證氣體流量測(cè)量的完整性。 
   molbloc/molbox覆蓋了從小到1 sccm到100 slm以上的流量范圍，對(duì)各種氣體的準(zhǔn)確度可達(dá)到讀數(shù)的± 0.2 %。其1秒的刷新率使得根據(jù)真正的流量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)測(cè)量和測(cè)試儀器進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整次成為了可能。molbloc/molbox結(jié)構(gòu)緊湊，易于搬運(yùn)，可利用全功能前面板本地操作，或者通過其RS232和IEEE-488接口進(jìn)行遠(yuǎn)程操作。 
   molbloc/molbox的配置和附件可支持各種氣體流量的測(cè)試和測(cè)量。molbloc/molbox可被集成到系統(tǒng)中對(duì)過程儀器進(jìn)行在線檢查，其便于搬運(yùn)的特性使其可作為現(xiàn)場(chǎng)審計(jì)或檢查標(biāo)準(zhǔn)，以及配以附件來建立完整的自動(dòng)氣體流量校準(zhǔn)臺(tái)。molbloc/molbox系統(tǒng)可測(cè)試和校準(zhǔn)各種各樣的流量裝置，包括MFC質(zhì)量流量控制器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體渦輪流量計(jì)，等等。

嚴(yán)格符合證明的氣體定律
   molbloc/molbox流量測(cè)量原理遵循已經(jīng)建立的層流理論。按照的氣流規(guī)律，已知?dú)怏w在層流態(tài)下的流量可由流徑的幾何形狀、氣體壓力和溫度計(jì)算獲得。

   molbloc/molbox的層流測(cè)量設(shè)計(jì)采用了現(xiàn)代化的傳感器、數(shù)學(xué)模型和數(shù)據(jù)處理技術(shù)，其穩(wěn)定度和精度達(dá)到了自氣體層流理論以來的水平，并且已經(jīng)獲得美國(guó)和國(guó)際保護(hù)。 
   這種組合提高了對(duì)氣壓和溫度的認(rèn)識(shí)，對(duì)流量通道做出了更好的解釋，從而能夠利用氣體在實(shí)際流動(dòng)條件下的熱力學(xué)特性對(duì)流量進(jìn)行全面、實(shí)時(shí)地計(jì)算。

*的壓力和溫度測(cè)量技術(shù)
   基于層流原理的流量測(cè)量不確定度高度依賴于差壓、氣體密度和粘度，進(jìn)而依賴于流動(dòng)氣體的壓力和溫度的不確定度。molbloc/molbox開創(chuàng)了壓力和溫度測(cè)量的新紀(jì)元。 
   molbloc層流元件上游氣體（P1）和下游氣體（P2）的壓力通過壓力穩(wěn)定倉(cāng)采樣，并由位于molbox流量終端內(nèi)的絕壓傳感器測(cè)得。在molbox1中，傳感器采用較新成果的晶振技術(shù)，分辨率達(dá)到了1 ppm，穩(wěn)定度達(dá)到了± 0.01 %/年。上游和下游傳感器讀數(shù)經(jīng)過平均來確定氣壓。兩個(gè)壓力讀數(shù)之差則為molbloc兩側(cè)的差壓。內(nèi)部molbox閥門和一種自動(dòng)“配衡"功能可使兩個(gè)傳感器的測(cè)量差可隨時(shí)自動(dòng)調(diào)零，從而不受當(dāng)前流動(dòng)條件的影響。 
   設(shè)計(jì)大大改善了通過molbloc層流元件的氣體溫度的測(cè)量過程。該技術(shù)并不測(cè)量進(jìn)入或流出層流元件的氣體的溫度，而是將氣體強(qiáng)制為molbloc的溫度，并測(cè)量molbloc的溫度。molbloc較大的熱損耗，以及molbloc環(huán)形流徑所產(chǎn)生的非常大的“金屬－氣體"接觸面積，導(dǎo)致氣體與molbloc的溫度相同。在氣體流過molbloc時(shí)，就會(huì)發(fā)生等溫氣體膨脹。等溫點(diǎn)的溫度是通過測(cè)量molbloc的溫度確定的。molbloc的溫度是利用兩個(gè)對(duì)稱嵌入到molbloc中的鉑電阻溫度計(jì)（PRT）精密測(cè)得的。PRT是由molbox中的歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取的，該系統(tǒng)可利用板載參考電阻器進(jìn)行自校準(zhǔn)。這樣的組合能夠以優(yōu)于± 0.1 ℃的準(zhǔn)確度測(cè)得流過molbloc的氣體溫度。

出眾的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
   傳遞標(biāo)準(zhǔn)的作用是可靠地將參考值從基準(zhǔn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)傳遞到其它設(shè)備。作為這一角色，傳遞標(biāo)準(zhǔn)較為重要的特性就是長(zhǎng)期的穩(wěn)定性。molbloc/molbox的穩(wěn)定性取決于三個(gè)參數(shù)：a) molbloc的層流路徑幾何形狀；b)氣體壓力測(cè)量值；c)氣體溫度測(cè)量值?；趍olbox1的molbloc/molbox系統(tǒng)的穩(wěn)定性指標(biāo)為（± 0.1%讀數(shù)/年）。

    molbloc的層流路徑是molbloc中心孔與molbloc活塞之間的間隙，該流徑是由兩塊實(shí)心的不銹鋼部件確定的。在大量程molbloc中，活塞由基于中心支架的對(duì)稱彈性變形的固定系統(tǒng)牢固地固定在氣缸內(nèi)；在小量程molbloc中，氣隙比較小，即使活塞的微小移動(dòng)都會(huì)引起流徑的明顯變化，活塞是通過與氣缸的過盈配合固定的。流徑的幾何形狀被設(shè)計(jì)為使氣體能夠直通過簡(jiǎn)單的形狀，使污染物聚集的機(jī)會(huì)降至較小。所有接觸面均被電解拋光為0.15 mRa，從而避免氣體中堆積微粒污染。 
   每個(gè)molbox都有*相同的上游和下游壓力傳感器。在molbox1中，這些傳感器的穩(wěn)定度可達(dá)± 0.01 %年。當(dāng)壓力傳感器每次差分調(diào)零時(shí)，會(huì)彼此進(jìn)行對(duì)比，并提醒用戶可能存在的過度漂移。 
   用以測(cè)量molbloc溫度的鉑電阻溫度計(jì)（PRT）是由molbox的歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取的。在每個(gè)molbox上電時(shí)，一個(gè)自動(dòng)程序會(huì)根據(jù)板載的參考電阻器校準(zhǔn)歐姆測(cè)量系統(tǒng)，參考電阻的三年期穩(wěn)定度為± 0.005 %。這一組合提供的溫度讀數(shù)穩(wěn)定度優(yōu)于± 0.01 %/年。為防止損壞或失效，兩個(gè)PRT的溫度讀數(shù)也會(huì)定期進(jìn)行彼此對(duì)比，從而判斷是否差異太大。

出眾的量程范圍比
   molbloc/molbox具有非常高的量程范圍比，使其在配置用來覆蓋非常寬范圍的被校準(zhǔn)設(shè)備的系統(tǒng)時(shí)非常有效。 molbloc/molbox的流量測(cè)量不確定度是流量讀數(shù)而非molbloc的滿量程。 
   優(yōu)于典型被校準(zhǔn)設(shè)備的不確定度的滿量程，所以molbloc的一個(gè)量程即可用來校準(zhǔn)各種量程的設(shè)備。例如，一個(gè)采用molbox1的5 slm molbloc來校準(zhǔn)± 1 %FS的設(shè)備，對(duì)于量程介于500 sccm和5 slm之間的任何設(shè)備，測(cè)量準(zhǔn)確度比率可達(dá)5:1或更好。利用molbox RFM，僅使用兩個(gè)molbloc，從1 sccm到10 slm，測(cè)量不確定度可達(dá)到± 0.5 % 讀數(shù)。molbloc/molbox的量程比降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性和購(gòu)置成本，以及隨后的校準(zhǔn)費(fèi)用。 

連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)
   在任何瞬間通過層流元件的質(zhì)量流量都與元件兩端的壓力差成正比，與基于體積或壓力變化速率的系統(tǒng)不同，通過層流元件的流量測(cè)量與時(shí)間無關(guān)。這就使得molbloc/molbox能夠以每秒鐘1次的頻率提供流量讀數(shù)，并且*達(dá)到系統(tǒng)的整體精度和較小不確定度。 
   實(shí)時(shí)讀數(shù)使得它能夠在無需等待完成測(cè)量周期或復(fù)位，即可收集測(cè)試或校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。實(shí)時(shí)讀數(shù)能夠馬上反映出被測(cè)設(shè)備調(diào)整的效果。實(shí)時(shí)讀數(shù)能力還使得 molbloc/molbox能夠被用于主動(dòng)測(cè)量應(yīng)用，例如混合參考?xì)獾恼{(diào)配。 
    層流元件的連續(xù)、實(shí)時(shí)讀數(shù)能力使其非常適合于檢查或校準(zhǔn)流量積算裝置。 molbloc/molbox能夠在不中斷的情況下測(cè)量任何時(shí)間周期的總流量。

支持多種氣體
   molbloc/molbox可測(cè)量各種氣體的流量，包括普通惰性氣體及各種工業(yè)過程和校準(zhǔn)替代用氣體。 
   Molbox的存儲(chǔ)器中保存了各種氣體所的完整熱力學(xué)特性。當(dāng)選擇某種氣體時(shí)，就會(huì)調(diào)用并應(yīng)用這些特性。在任何時(shí)候均可通過molbox的前面板或遠(yuǎn)程命令直接選擇氣體。在采用新的氣體時(shí)，一項(xiàng)自動(dòng)清潔功能會(huì)清除molbox氣壓管路中的舊氣體。

*的隨機(jī)自帶功能
   為*基本的流量測(cè)量能力并使系統(tǒng)發(fā)揮較大的效力，molbox提供了各種各樣的功能和特殊特性，包括以下的工作特性：

• 以28種質(zhì)量和體積流量單位測(cè)量和顯示，包括用戶定義的單位

• 可選擇超過18種的不同氣體

• 實(shí)時(shí)顯示molbloc壓力和溫度

• 顯示分辨率可調(diào)節(jié)

• 依賴于穩(wěn)定性的全時(shí)“就緒/未就緒" 指示

• 更換氣體時(shí)的自動(dòng)清潔程序

• 智能檢測(cè)內(nèi)部和外部的泄漏

• 過壓監(jiān)控和自保護(hù)系統(tǒng)

  molbox吹掃功能顯示

• 還包括如下的高級(jí)功能：

• 具有可調(diào)時(shí)間周期的平均和標(biāo)準(zhǔn)差計(jì)算功能

• Hi/Lo監(jiān)測(cè)

• 可調(diào)時(shí)間周期的流量積算功能

• 用兩種不同的流量測(cè)量單位同時(shí)顯示

• MFC控制和測(cè)量，流量和％FS轉(zhuǎn)換 （molbox1選項(xiàng)）

• 密碼保護(hù)數(shù)據(jù)安全 
  

  流量積算功能顯示

  
     由于molbox的嵌入軟件保存在FLASH存儲(chǔ)器內(nèi)，所以就使molbox能夠擁有較新特性并且*免費(fèi)。DHI的網(wǎng)站（）會(huì)提供定期的軟件更新和升級(jí)，用戶可免費(fèi)下載和安裝。

  計(jì)算機(jī)輔助自動(dòng)校準(zhǔn)
      COMPASS for molbox校準(zhǔn)輔助軟件使molbloc/molbox的自動(dòng)校準(zhǔn)提升到了新臺(tái)階。COMPASS for molbox和一臺(tái)連接了molbloc/molbox的個(gè)人計(jì)算機(jī)可形成一代化全功能的流量裝置校準(zhǔn)和測(cè)試的交鑰匙系統(tǒng)。 
     COMPASS可設(shè)置被測(cè)設(shè)備（DUT）的記錄、定義并關(guān)聯(lián)DUT的測(cè)試方法、運(yùn)行測(cè)試、采集參考和測(cè)試數(shù)據(jù)、生成標(biāo)準(zhǔn)和自定義的校準(zhǔn)報(bào)告。所有的參考數(shù)據(jù)、DUT和測(cè)試數(shù)據(jù)都是以標(biāo)準(zhǔn)的符號(hào)分隔文件格式采集和儲(chǔ)存的，可方便地下載到其它應(yīng)用程序。
  

  COMPASS? for molbox的主運(yùn)行屏幕顯示

  
      COMPASS的功能遠(yuǎn)多于簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)采集和作為測(cè)試順序工具，它也包括專門的數(shù)據(jù)減縮功能，可支持隨流量設(shè)備而定的壓力和溫度，例如轉(zhuǎn)子流量計(jì)、渦輪流量計(jì)和體積流量計(jì)。

  從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到完整的校準(zhǔn)系統(tǒng)
     有兩種molbox型號(hào)和各種附件可供選擇，molbloc/molbox所提供的測(cè)量能力可適應(yīng)從簡(jiǎn)單的參考流量計(jì)到交鑰匙式自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)的各種應(yīng)用。 molbox RFM和一個(gè)molbloc可配置成簡(jiǎn)單、成本相對(duì)較低的參考流量計(jì)，其在 1％～100％滿量程范圍內(nèi)的測(cè)量不確定度可達(dá)到讀數(shù)的±0.5%；用molbox1、 MFC選項(xiàng)、Molstic安裝臺(tái)和COMPASS 軟件可組成一套交鑰匙式的全自動(dòng)質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)。

  流量校驗(yàn)儀主要產(chǎn)品

  型號(hào)	說明
  molbox1	質(zhì)量流量終端： 流量測(cè)量不確定度為±0.2%讀數(shù) *性能，基于石英晶振壓力傳感器 2路molbloc通道，可同時(shí)連接2個(gè)molbloc，并可利用A_B功能鍵在2路之間進(jìn)行切換。還支持A+B和A/B測(cè)量功能集成模擬MFC測(cè)量和控制選件，用來切換多個(gè)通道的開關(guān)盒閥門驅(qū)動(dòng)選件（8路可切換，12V輸出）
  molboxlFM	質(zhì)量流量終端： 流量測(cè)量不確定度為±0.5%讀數(shù) 微量程選件，在molbloc滿量程的10%以下時(shí)，可減小測(cè)量不確定度 微機(jī)械硅壓阻壓力傳感器 結(jié)構(gòu)緊湊 成本低于molboxl
  mobloc	層流元件： Molbloc是用于molbox質(zhì)量流量終端的層流元件。Molbloc的流經(jīng)為縱向的環(huán)形縫隙，介于molbloc內(nèi)部的一個(gè)活塞和密封圓柱裝配孔之間。通過調(diào)整同一機(jī)身內(nèi)的活塞的直徑，從而改變環(huán)形縫的大小即可得到不同量程的molbloc。對(duì)于高流量量程（IE4及以上流量范圍），采用一個(gè)具有更大圓柱孔較大molbloc機(jī)身。