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北京壯仕科技有限公司


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小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2026-06-30 10:53:21瀏覽次數(shù)：202次

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商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：銷(xiāo)售

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD

詳細(xì)介紹

視頻

wps32.jpg

      操作視頻

主要參數(shù)

輸入電源：220V 通用  功率：<>

 

工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào)

 

單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào)

 

靶頭數(shù)目：3個(gè)

 

輸出電壓：1600V DC

 

樣品臺(tái)加熱溫度：500℃（選配，詳細(xì)請(qǐng)聯(lián)系售后）

濺射腔體

采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

 

密封：O形密封圈密封

樣品臺(tái)

一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置

 

濺射距離：濺射距離可調(diào)


可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)（溫度可到500℃）

 

PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）

image.png

控制面板

控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏

 

一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度

image.png

真空泵（選配）

用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）

 

用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）

wps33.png

進(jìn)氣口

一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

靶材

要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm

 

可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接

 wps34.png

外形尺寸

460mm×330mm×540mm (L×W×H)

 

凈重:50KG（不包括泵）

image.png

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

質(zhì)量認(rèn)證

wps35.png認(rèn)證

各種靶材的參數(shù)（僅供參考）

對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）

 

靶材種類(lèi)

真空度（Pa）

濺射電流（mA）

時(shí)間（s）

濺射次數(shù)

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

使用注意事項(xiàng)

由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)

 

有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜

 

為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）

 

在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈

 

要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面

 

超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。

 

等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物

 

制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力

wps36.png 

   wps37.png

   wps38.png

   wps39.png

   wps40.png

 超聲波清洗機(jī)

    等離子清洗機(jī)

  大功率磁控濺射儀

     蒸鍍儀

     手套箱

警告

注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體

 

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用

 

濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

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