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行業(yè)產(chǎn)品

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北京壯仕科技有限公司


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1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-HVC

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間：2026-06-30 14:19:00瀏覽次數(shù)：91次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：銷售

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備名稱?1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X--HVC（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X--HVC （2019.12.9—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>    圖片未及時(shí)更新提示    多種配件可選提示    危險(xiǎn)設(shè)備操作提示

主要特點(diǎn)

? 高熔點(diǎn)物質(zhì)能夠在低溫下合成

? 可生長(zhǎng)單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質(zhì)

? 不僅可以在基片上進(jìn)行生長(zhǎng)，還可以在粉體表面生長(zhǎng)

基本參數(shù)

一、加熱爐：

  ? 溫度：1100℃（1200℃＜1h）

  ? 總加熱度: 440mm   

  ? 升溫速率：≤10℃/min 

  ? 恒溫精度：±1℃   

  ? 熱偶：K型熱偶 

  ? 電源：AC208-240 50/60Hz

  ? 功率：2.5KW



二、供氣系統(tǒng)：

產(chǎn)品

二通道

三通道

四通道

五通道

 工作溫度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

壓力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重復(fù)精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范圍

一路：1~199 SCCM

二路：1~199 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

注意

其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費(fèi)用

五-九路可按照客戶要求定制


三、103G高真空機(jī)組：


   產(chǎn)品

國(guó)產(chǎn)分子泵

愛德華分子泵

抽氣速率

·N2   33 L/s

·He   39 L/s

·H2   32 L/s

·N2     42 L/s

·He     49 L/s

·H2     45 L/s

系統(tǒng)極限

真空度

<>4 Pa

(配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-2Pa)

<>6 Pa

(配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-4Pa)

分子泵組成

RVP-4機(jī)械泵和F-100/110分子泵

隔膜泵和斡旋分子泵

使用電壓

和功率

電壓：200~240V

輸出功率：150W

電壓：185-265V

輸出功率：100W

移動(dòng)殼體

尺寸:

600(L)x600(W)x750(H)mm

600(L)x600(W)x750(H)mm



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

加熱元件和溫控系統(tǒng)

? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命）

? 包含一款YD518P型溫度控制器

? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

? 智能化30段可編程控制

? 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

? 通過MET認(rèn)證

? 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

 OTF-1200X--HVC 1.jpg OTF-1200X--HVC 2.jpg OTF-1200X--HVC 3.jpg

爐體結(jié)構(gòu)和爐管尺寸

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）

? 高純石英管

? 尺寸：外徑: 50 ×長(zhǎng): 1000 mm   外徑: 60 ×長(zhǎng): 1000 mm  

 外徑: 80 ×長(zhǎng): 1000 mm   外徑: 100 ×長(zhǎng): 1000 mm

尺寸

? 加熱爐外形尺寸：1000 L x 300 W x 550 H mm


? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm


? 高真空機(jī)組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

重量

? 加熱爐約40Kg

? 供氣系統(tǒng)約36Kg

? 真空機(jī)組約60Kg

認(rèn)證

? 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

 OTF-1200X--HVC 4.jpg

質(zhì)保

? 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

? 特別提示：

   1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

關(guān)鍵詞：溫度控制器

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