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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC

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更新時間：2026-06-30 14:24:25瀏覽次數(shù)：80次

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北京壯仕科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

-1700X系列管式爐殼體·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)

詳細(xì)介紹

-1700X 系列管式爐

殼體	· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 <> · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 · 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動. 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組
爐管	· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 · （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
功率	6KW
工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
加熱元件	8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作溫度	· 工作溫度.: 1650°C（<>（更新時間：19.12.10--JS2）連續(xù)工作溫度.: 1600°C
升溫速率	≤5°C/min
加熱區(qū)長度	加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
溫控系統(tǒng)	· 采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序 · 控溫精度: ±1°C · 控溫儀表操作視頻熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
真空法蘭	· 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 · 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表 · 兩個精密針閥 · 一個KF-25連接器和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭
外形尺寸	550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率	100~110W
工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
外形尺寸	600(L) x 600(W) x 700(H), mm
殼體	· 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm · 承載量: 600 Lbs on top · 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:
控制面板	· 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動啟動） · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
抽氣速率	· N2 33 L/s · He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s
工作范圍	1000 mbar to <>
極限	<>