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小型PECVD管式爐系統(tǒng)OTF-1200X-50S-PE

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更新時(shí)間：2026-06-30 14:34:05瀏覽次數(shù)：111次

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北京壯仕科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備名稱小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 整套設(shè)備尺寸小巧；

? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量；

? 可通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃（<>

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

圖片1.jpg 溫控儀表.JPG

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。