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行業(yè)產(chǎn)品

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北京壯仕科技有限公司


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滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2026-06-30 14:44:01瀏覽次數(shù)：126次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：銷售

產(chǎn)品簡介

設(shè)備名稱滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻；   

? 兩個加熱區(qū)，溫度梯度可達 200oC；

? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1200oC（<>

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

? 輸入功率：208-240V，單相，功率：2.5KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

? 爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。


設(shè)備主圖.jpg  圖片2.jpg



多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。

真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。


圖片3.jpg    圖片4.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 設(shè)備總體尺寸：2200mm L′800mm W′1500mm H

? 凈重：110kg

? 運輸重量：230kg


產(chǎn)品尺寸.JPG

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片5.jpg

國家

? 名稱：可組合式等離子增強化學(xué)氣相沉積裝置

? 編號：ZL-2011-2-0355777.1

? 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


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