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北京壯仕科技有限公司

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1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-III-R5-PECVD

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備名稱(chēng)1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱(chēng)

1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) （2019.10.31-科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 爐體在0 - 25°內(nèi)傾斜，有利于粉末樣品的裝卸；

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。

加熱爐參數(shù)

三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐

? 溫度：1200℃（<>

? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入功率：208-240 V，單相，功率：4 KW；

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10 rpm；

? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

三溫區(qū)管式爐.jpg 圖片1.jpg

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部

射頻電源

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

圖片6.jpg 圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 設(shè)備尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H

? 供氣系統(tǒng)：600mm L×700mm W×700mm H

? 凈重：180 kg

設(shè)備尺寸.jpg

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 溫度控制器真空泵觸摸屏

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