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1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-S-II-4CV-PE

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更新時間：2026-06-30 14:51:40瀏覽次數(shù)：204次

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北京壯仕科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備名稱1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-4CV-PE（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

1200℃等離子增強(qiáng)HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-4CV-PE （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 爐體可在0 ~ 30°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出；

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅(qū)體進(jìn)行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學(xué)氣相沉積階段。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100oC（<><>

? 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入功率：110V，單相，功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm；

? 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

圖片1.jpg

更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

蒸發(fā)舟參數(shù)

? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）；

? S型熱電偶插入坩堝中實(shí)現(xiàn)對蒸發(fā)物料的精確測溫；

? 溫度可達(dá)1100℃，長期使用溫度1000℃。

蒸發(fā)舟照片.jpg 蒸發(fā)舟照片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片