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行業(yè)產(chǎn)品

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北京壯仕科技有限公司


當(dāng)前位置：北京壯仕科技有限公司>>其他配套設(shè)備>>1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE

1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間：2026-06-30 14:55:37瀏覽次數(shù)：192次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：銷售

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備名稱?1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE（2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

? 1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示


產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。  


工作電源

? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：<>


加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃（<>

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 工作電壓：110V；

? 額定功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。

 OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1.png




更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部


射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。


300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg500W射頻電源.jpg100W射頻電源.png


真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

 真空系統(tǒng).png

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

 四通道質(zhì)子圖1.jpg  四路質(zhì)子圖2.png


循環(huán)水冷機(jī)

? 標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī)，水流速率：16L/min

 水冷機(jī).jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 尺寸：1400mm L′600mm W′1240mm H

? 凈重：90 kg 

 產(chǎn)品尺寸.jpg


認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

 認(rèn)證.png


承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）



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