當前位置：北京壯仕科技有限公司>>樣品處理設(shè)備>>程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀GSL-1700X-EV4

程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀GSL-1700X-EV4

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：銷售查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-06-30 16:33:40瀏覽次數(shù)：275次

聯(lián)系我時，請告知來自儀表網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  樣品處理設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

北京壯仕科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：銷售

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

品結(jié)構(gòu)石英真空腔體：280mmOD×260mmID×310mmH

詳細介紹


品結(jié)構(gòu)	石英真空腔體：280mm OD×260mm ID×310mm H，易清洗和放入樣品安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜達到更好的均勻性采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，溫度可達到1700℃，并且配用專用氧化鋁舟，可裝入樣品（僅1600℃以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600℃，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 真空度：10-5Torr(如采用分子泵系統(tǒng)) 進氣系統(tǒng)可實現(xiàn)腔體的清洗和反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
工作電源	電壓：AC220V，50/60Hz，單相功率：1200W，電流為30A 4蒸發(fā)坩堝，每個容積為3mL。四坩堝可依次進行蒸發(fā)，實現(xiàn)多層膜沉積工藝（不能同時蒸發(fā)）采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1）標準采用S型熱偶：工作溫度為200℃-1500℃（圖2）可選B型熱電偶：工作溫度為1200℃-1700℃ 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1oC（如圖3）也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)接狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可高達2000℃，可實現(xiàn)對樣品鍍碳等實驗（圖4）儀器中配備4個蒸發(fā)坩堝，每個坩堝均配有2個鎢絲藍加熱元件圖1 圖2 圖3 圖4 圖5
樣品臺	儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm 樣品臺可旋轉(zhuǎn) 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm
樣品厚度監(jiān)測（可選）	腔室內(nèi)可安裝精密的薄膜測厚儀，可點擊圖1&圖2查看詳情。測厚精度可達0.10 ?。測厚儀LED顯示可實現(xiàn)：根據(jù)數(shù)據(jù)庫，輸入涂層信息顯示鍍膜總厚度以及鍍膜速度可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD，用于薄膜厚度的檢測，點擊圖3查看詳情圖1 圖2 圖3
真空系統(tǒng)（選配）	設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 ? 真空度可達4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵） ? 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr ? 真空度達到10-2torr時，可蒸發(fā)一些貴金屬，如金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機材料，可選購數(shù)顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) ? 高真空度可達4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料，如Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計（可測量真空度為1.0E-7Torr） ? 可在本公司選購各種真空泵和真空計
進氣口	進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜進氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量
耗材	注：氧化鋁坩堝以及鎢絲藍為耗材，可與本公司銷售聯(lián)系購買
產(chǎn)品尺寸	總體尺寸：550mm L×550mm W×750mm H 石英腔體尺寸：280mm OD×260mm ID×310mm H
質(zhì)量認證	CE認證
質(zhì)保期	一年保質(zhì)期，終生維護
產(chǎn)品質(zhì)量	80kg
應(yīng)用注意事項	為了獲得高真空度，可采用以下做法（1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗（2）抽真空時，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時使用溫度高于1300℃時，保溫時間不可大于1小時，否則會損壞密封圈當腔體的各閥門關(guān)閉時，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱當儀器正在蒸發(fā)材料時，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當加熱溫度降至100℃時，才可放氣或關(guān)閉真空泵