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GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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GSL-1700X-III-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

GSL-1700X-III-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ ● 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ● 三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
功率	9 KW(需要75A的空氣開(kāi)關(guān) )
電壓	● 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 25" (630 mm) ● 加熱溫區(qū)1長(zhǎng)度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃ ● 升溫速率: 10°C/min ● 加熱溫區(qū)2長(zhǎng)度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，溫度可達(dá)1700℃ ● 升溫速率: 5°C/min ● 加熱溫區(qū)3長(zhǎng)度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃ ● 升溫速率: 10°C/min
爐管和法蘭尺寸	● 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube ● （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1200mm)Length ● （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1200mm Length ● 一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門(mén)和儀表 ● 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵
溫控系統(tǒng)	● 3個(gè)溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫 ● 控溫儀表操作視頻
控溫精確度	+/-1°C
低真空系統(tǒng)	● 采用雙旋機(jī)械泵，其針對(duì)于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到 10-2 Torr. ● 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
防腐型數(shù)字真空計(jì)	● 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
三路浮子混氣系統(tǒng)	● 3個(gè)浮子流量計(jì)（精確度4%FS）安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體 ● 路氣體流量范圍為10-100 cc/min ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min ● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ● 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥
尺寸	高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證	● 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈) ● CE certified