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OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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北京壯仕科技有限公司

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OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到10-2torr

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu)	● 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度 ● 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能外釋放 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ● 可開(kāi)啟式，更換爐管方便
功率	5 KW
電壓	AC 208-240V單相, 50/60 Hz
加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
加熱速率	≤20 ℃/min
石英管&密封法蘭	● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) ● 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門(mén)（點(diǎn)擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息）
加熱區(qū)長(zhǎng)度	● 三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total) ● 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) ● 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") ● M溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng)	● 三個(gè)精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫 ● PID控制方式,通過(guò)PWM固體繼電器 ● 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序 ● 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能 ● 控溫儀表操作視頻
控溫精度	+/- 1℃
真空密封系統(tǒng)	● 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥） ● 通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到10-4 torr ● 漏氣率 < 5="" m-torr="" min="">
真空泵	采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米
數(shù)字式真空顯示計(jì)	可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
氣體流量計(jì)和壓力表	● 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)，能夠檢測(cè)到氣體的流 ● 三路浮子量程分別為 ● 10-100 cc/min ● 16-160 cc/min ● 25-250 cc/min ● 內(nèi)部安裝有一混氣罐 ● 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力
閥門(mén)	四個(gè)不銹鋼閥門(mén)安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量
外形尺寸	● 爐子: 1100 X 450 x 670mm ● 底部移動(dòng)架: 600x600x597mm
開(kāi)門(mén)斷電	為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
凈重	約 90 Kg
運(yùn)輸重量	245 Lbs
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified
使用注意事項(xiàng)：	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ ● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）