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OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2026-06-30 18:29:56瀏覽次數(shù)：170次

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北京壯仕科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：590條

所在地區(qū)：北京北京市

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

性能指標(biāo)和基本配置

殼體結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，的減少能量損失

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

功率

1.75KW

電壓

AC -220V

溫度

工作溫度：1200℃（< 1hr）>

連續(xù)工作溫度1100 ℃

升溫速率 <= 10℃ in="">

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度: 8" (200mm)

恒溫區(qū)長度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系

控溫精度

+/- 1°C

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長儀器使用壽命）

溫控系統(tǒng)

PID30段程序化控制，系統(tǒng)帶有過熱和端偶保護(hù)

控溫儀表操作視頻

兩路混氣系統(tǒng)

兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —100mL/min

-0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MPa

混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥

后端裝有φ6.35卡套接頭，無需通電

外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").

凈重: 14 lbs.

真空法蘭和配件

結(jié)構(gòu)


左法蘭	右法蘭

標(biāo)準(zhǔn)真空配件:

一個(gè)防腐型真空計(jì)

一個(gè)φ6.35的卡套接頭

兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭

一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管

可選法蘭：本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)資料）

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

真空度

我公司有多種真空泵可選，請點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷售

產(chǎn)品尺寸

爐體:340 x 300 x 400mm

真空泵:440 x 160 x 300mm

混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

凈重

100 lbs

運(yùn)輸重量

200lbs

開門斷電

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（爐管，加熱元件易耗件除外）

質(zhì)量認(rèn)證

CE 認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證

注意事項(xiàng)

①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa

②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全

③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

⑤石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

⑥對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

關(guān)鍵詞：儀表浮子流量計(jì) 標(biāo)準(zhǔn) 真空泵