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日立SU7000場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

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特點(diǎn)核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

核心理念

采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng)，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的。
支持不同形狀樣品、多種觀察方法
・大型樣品觀察
・低真空觀察
・超低溫觀察
・實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉(cāng)和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。
支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉(cāng)形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過(guò)選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息的檢測(cè)系統(tǒng)

隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒

樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda

通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例（加速電壓：1 kV）
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)

優(yōu)化信號(hào)顯示功能

成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。

用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。

單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。

導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉(cāng)內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。

使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專門用來(lái)顯示信號(hào)，最多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。

高自由度的界面布局

使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來(lái)顯示圖像，2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過(guò)SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。

可擴(kuò)展觀察和分析方法

樣品倉(cāng)和馬達(dá)臺(tái)

樣品倉(cāng)外觀
標(biāo)配18個(gè)附件接口

馬達(dá)臺(tái)外觀
XY軸可移動(dòng)距離為135×100 mm

樣品倉(cāng)可搭載直徑為φ 200 mm；80 mm的樣品。大開倉(cāng)設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問(wèn)題。

相機(jī)導(dǎo)航功能^(*)

通過(guò)相機(jī)拍攝樣品

將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航

SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)^(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。

(*)可選配相機(jī)。

支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)

SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測(cè)器）、UVD、MD等各種探測(cè)器^(**)。

低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過(guò)MD（背散射電子），右圖為通過(guò)UVD（二次電子）探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

PD-BSED：響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。

(**)可選配PD-BSED、UVD。

規(guī)格

項(xiàng)目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
			0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射（肖特基熱場(chǎng)發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
	束流		200 nA
探測(cè)器	標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器		UD （上探測(cè)器)
			MD （中探測(cè)器）
			LD （下探測(cè)器)
	選配探測(cè)器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器）
			UVD（高靈敏度低真空探測(cè)器）
低真空模式*1	樣品倉(cāng)壓力范圍		5～300 Pa
	可使用探測(cè)器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)	馬達(dá)臺(tái)控制		5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
	移動(dòng)范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		直徑：φ200 mm, 高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰極熒光探測(cè)器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺(tái)

關(guān)鍵詞：顯示屏標(biāo)準(zhǔn) 顯示器波譜儀

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