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Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

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更新時(shí)間：2026-07-07 08:25:00瀏覽次數(shù)：116次

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英?？担◤V州）真空儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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詳細(xì)介紹

好處

緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成，各種滿刻度、法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

CVD、蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

規(guī)格

類型		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	0.15
溫度效應(yīng)
零點(diǎn)	percent FS/°C	0.0025	0.0025
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01
壓力，	kPa (absolute)	400	260
分辨率	percent FS	0.003	0.003
讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01
建議的讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5
溫度
傳感器	°C	45	45
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時(shí)	W	≤15	≤15
運(yùn)行溫度	W	≤10	≤10
輸出信號(hào)（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2)	ms	30	30
保護(hù)等級(jí)		IP 40	IP 40
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)		SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn)		≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1
診斷端口
協(xié)議		RS232-C	RS232-C
讀數(shù)		pressure, status, ID	pressure, status, ID
設(shè)置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn)		ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
數(shù)據(jù)率	Kbps	100000	100000
節(jié)點(diǎn)地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過(guò)程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器		2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)