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Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar，新10mTorr

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更新時(shí)間：2026-07-07 08:40:16瀏覽次數(shù)：122次

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英?？担◤V州）真空儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar，新10mTorr

詳細(xì)介紹

好處

高生產(chǎn)力 - 響應(yīng)時(shí)間快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線
使用壽命長(zhǎng) - 經(jīng)驗(yàn)證的陶瓷傳感器
忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm/年穩(wěn)定性

典型應(yīng)用

原子層沉積
高速過(guò)程控制
PVD、CVD、蝕刻
一般高溫真空應(yīng)用

規(guī)格

類型		1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar	0.02 ... 0.01Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	-
精度	% of reading	-	0.2
溫度效應(yīng)
零點(diǎn)	percent FS/°C	0.0025	-
在零點(diǎn) 0.5 ... 0.05 乇/毫巴	percent FS/°C	0.005	-
在零點(diǎn) 0.02 ... 0.01 乇	percent FS/°C	-	0.01
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01
壓強(qiáng)
P 1000乇/毫巴	kPa (absolute)	400	400
P 500 ... 1乇/毫巴	kPa (absolute)	260	260
P 0.5 ... 0.01乇/毫巴	kPa (absolute)	130	130
分辨率	percent FS	0.003	0.003
讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01
建議的讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +85	–20 … +85
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時(shí)	W	≤14	≤14
運(yùn)行溫度	W	≤9	≤9
輸出信號(hào)（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
Measurement rate	kHz	1	1
反應(yīng)時(shí)間 (2)	ms	2 ... 20	2 ... 20
Signal processing time	ms	2	2
保護(hù)等級(jí)		IP 30	IP 30
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)		SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn)		≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1
診斷端口
協(xié)議		USB	USB
讀數(shù)		pressure, status, ID	pressure, status, ID
設(shè)置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn)		ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge	ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device ProfileETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
節(jié)點(diǎn)地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
過(guò)程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT 連接器		2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)
Signal processing time	ms	2	2