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超高分辨場發(fā)射掃描電鏡 SEM5000X

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更新時間：2026-03-26 07:40:52瀏覽次數(shù)：126評價

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產(chǎn)品簡介

場發(fā)射掃描電鏡SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6nm@15kV和1.0nm@1kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉支持8寸晶圓（直徑208mm），極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗......

詳細介紹

	超高分辨率（0.6 nm@15 kV）
	高壓隧道技術(shù)
	*雙減速模式（Dul-Dec）
	機械優(yōu)中心樣品臺
	*快速換樣倉（8寸）

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