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閱讀：260發(fā)布時(shí)間：2022-3-29
X射線光電子能譜技術(shù)主要應(yīng)用是測(cè)定電子的結(jié)合能來(lái)鑒定樣品表面的化學(xué)性質(zhì)及組成的分析，其特點(diǎn)在光電子來(lái)自熒光分析X射線管表面10nm以?xún)?nèi)，僅帶出表面的化學(xué)信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于金屬、無(wú)機(jī)材料、催化劑、聚合物、涂層材料礦石等各種材料的研究，以及腐蝕、摩擦、潤(rùn)滑、粘接、催化、包覆、氧化等過(guò)程的研究。熒光分析X射線管當(dāng)產(chǎn)品表面存在微小的異物，而常規(guī)的成分測(cè)試方法無(wú)法準(zhǔn)確對(duì)異物進(jìn)行定性定量分析，可選擇XPS進(jìn)行分析，結(jié)構(gòu)分析X射線管XPS能分析≥10μm直徑的異物成分以及元素價(jià)態(tài)，從而確定異物的化學(xué)態(tài)，對(duì)失效機(jī)理研究提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
X射線管是X射線機(jī)中的主要元件，是一個(gè)高真空器件?，F(xiàn)在所使用的熱陰極電子X(jué)射線管，其基本原理是利用陰極的熱發(fā)射電子束在高壓電場(chǎng)的作用下高速飛向陽(yáng)極靶面，靶面受電子轟擊，產(chǎn)生X線。醫(yī)用X線管，安檢X射線管按用途可分為診斷用X射線管和治療用x射線管。兩種X射線管的原理基本一致，易震裂，存放時(shí)間較長(zhǎng)時(shí)，各電極可能有自然出氣現(xiàn)象，使用前須對(duì)它進(jìn)行仔細(xì)的檢查和實(shí)驗(yàn)。結(jié)構(gòu)分析X射線管當(dāng)產(chǎn)品的表面存在同種元素多種價(jià)態(tài)的物質(zhì)，常規(guī)測(cè)試方法不能區(qū)分元素各種價(jià)態(tài)所含的比例，可考慮XPS價(jià)態(tài)分析，分析出元素各種價(jià)態(tài)所含的比例。當(dāng)產(chǎn)品表面有多層薄膜，需測(cè)量各層膜厚及成分，利用D-SIMS能準(zhǔn)確測(cè)定各層薄膜厚度及組成成分。
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