深圳市怡和興機(jī)電科技有限公司
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閱讀：4發(fā)布時(shí)間：2026-5-20
半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)車間都有著嚴(yán)格的生產(chǎn)條件要求，比如恒溫恒濕，無塵潔凈等，芯片只有在適合的環(huán)境能才能正常發(fā)揮作用，而我們周圍的正常環(huán)境大多數(shù)情況下并不能做到這一點(diǎn)，所以需要封測來保護(hù)芯片，為其制造一個(gè)良好的工作環(huán)境。支撐功能則有兩個(gè)部分，一為支撐芯片，固定好芯片便于電路連接，另一則是形成一定外型支撐整個(gè)器件，使得器件免受損壞。怡和興潔凈無塵烘箱適用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
潔凈無塵烘箱具備以下特點(diǎn)：
1、SUS304 1.5mm不銹鋼板，全滿焊工藝；
2、箱內(nèi)風(fēng)道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器?？墒褂脫Q氣和不換氣模式，可以使箱內(nèi)保證微正壓，以保證污染物不能進(jìn)入內(nèi)箱；
3、高效過濾器HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室，可以對箱體內(nèi)氣體進(jìn)行單向過濾和循環(huán)過濾。根據(jù)使用要求，可以滿足潔凈級(jí)別ISO Class 5（國標(biāo)100級(jí)），ISO Class 6（國標(biāo)1000級(jí)），ISO Class 7（國標(biāo)10000級(jí)）等各種等級(jí)的需求；
4、配置自動(dòng)充氮?dú)庋b置，與自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤；
5、全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng)，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動(dòng)恒溫。可以保存配方，查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫?cái)?shù)據(jù)等；
6、超溫保護(hù)器，配置馬達(dá)過載保護(hù)器，蜂鳴器，故障指示燈，無熔絲開關(guān)。
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