有機(jī)基板、粘合劑、密封劑、底部填充物、油墨或涂層的干燥或固化是以及成熟的半導(dǎo)體封裝制造或組裝中關(guān)鍵的工藝之一。固化過(guò)程是 IC 封裝制造中至關(guān)重要的一步。它必須像任何其他工藝步驟一樣受到嚴(yán)格的控制和監(jiān)控。固化不當(dāng)?shù)挠绊懯俏⒚畹?,通常歸因于材料本身或分配和/或放置操作中的不一致。
l氧化。諸如固化或干燥之類(lèi)的加熱過(guò)程可能會(huì)氧化金屬化區(qū)域或用于IC管芯或基板上的電互連的焊盤(pán)。銅越來(lái)越多地用于 IC 封裝中,作為電氣互連的重要金屬。銅的缺點(diǎn)之一是它容易形成難以去除或穿透的頑固氧化物,因此必須小心防止其形成。
l壓力。封裝中相鄰材料之間熱機(jī)械性能的巨大差異會(huì)導(dǎo)致高應(yīng)力梯度,從而導(dǎo)致界面分層并導(dǎo)致封裝破裂。這些情況可能會(huì)導(dǎo)致電氣互連被抬起或切斷,并對(duì) IC 芯片本身造成機(jī)械損壞。應(yīng)力水平隨著 IC 裸片尺寸的增加而增加。