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深圳市怡和興機電科技有限公司


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聯(lián)系人:蔣小姐 (市場經(jīng)理)

技術文章

半導體烘箱在典型的IC封裝工藝中的應用

閱讀:11發(fā)布時間:2026-5-21

典型的 IC 封裝組裝流程由許多工藝步驟組成,其中許多步驟需要干燥或固化,也需要用到半導體烘箱。這些固化步驟通常在 125  175的各種溫度下在烘箱中進烘烤1 至 6 小時。

1. 基材烘烤:組裝過程的首先是固化步驟,用于烘烤針柵陣列 (PGA)、球柵陣列 (BGA) 和芯片級 (CSP) 封裝的有機基板中的潛在水分。

2. 底部填充固化倒裝芯片 (FC) 管芯焊接到基板后,IC 管芯表面和基板之間的間隙用低粘度、二氧化硅填充的環(huán)氧樹脂“底部填充",以減少管芯之間熱膨脹系數(shù)的不匹配和層壓基板。

3. 散熱器固化功耗的增加和管芯尺寸的減小正在推動將散熱器連接到封裝和 FC 管芯背面的日益增長的需求。許多不同的粘合劑材料,以液體(或糊狀)和薄膜(或預制件)形式提供,用于此應用。

4. 模具粘合固化在大多數(shù)引線鍵合 (WB) 應用中,IC 管芯被粘合到金屬引線框架或?qū)訅夯迳?。粘合劑含有填充顆粒,使其具有導電性或絕緣性,具體取決于芯片背面是否需要電偏置或熱連接。在多芯片和堆疊芯片應用中,芯片鍵合和固化操作可能會重復兩到五次。

5. 涂層固化涂層可以用來保護 IC 芯片免受模塑料中離子雜質(zhì)的腐蝕影響涂覆長、細間距引線鍵合的工藝,以防止模具上的線掃和電氣短路;旋涂抗蝕劑的工藝。

6. 封裝固化具有 WB 或 FC 互連的 COB 應用通常用從注射器分配的液態(tài)、二氧化硅填充的環(huán)氧樹脂材料進行封裝。用較低粘度的自流平環(huán)氧樹脂填充阻塞區(qū)域,以覆蓋和保護芯片。對于填充材料來說,實現(xiàn)對壩材料和底層組件的良好、無空隙的附著力至關重要。在整個固化過程中,填充材料必須與壩材料頂部保持水平。

7. 灌膠固化液體密封劑還用于封裝光學元件,例如 LED 燈和顯示器,以及許多大型電子元件外殼。

8. 模后固化絕大多數(shù)封裝都包含單個 IC 芯片和 WB 互連,隨后使用熱固性環(huán)氧樹脂模塑料進行轉(zhuǎn)移成型。將粒狀化合物注入熱模具中以在 IC 模具周圍形成主體,并在模具中在固化 1 至 2 分鐘。從模具中脫模后,封裝需要額外的固化過程,稱為模后固化,

9. 標記干燥當今使用的大多數(shù)標記油墨要么用紫外線 (UV) 光固化,要么熱固化。它們的配方具有良好的附著力和耐溶劑性。

10. 干包烘烤:在裝運對濕氣敏感的 IC 封裝之前,將它們干燥或烘烤,并在稱為干燥包裝的操作中密封在氣密袋中。如果IC吸收大氣中的水分,在隨后的電路板組裝加工過程中,它們很可能會出現(xiàn)封裝破裂的情況。

針對不同的工藝階段,考慮到工藝要求,產(chǎn)能要求與經(jīng)濟性,可選擇不同的烘箱來適用。包括可能的無氧烤箱(基材烘烤,固晶烘烤),真空烤箱(真空脫泡烘烤,晶圓烘烤),普通鼓風精密烤箱(成品除濕干燥),門平底式烤箱(批量灌膠固化烘烤)。



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