使用等離子體是一種有效的清潔方式，無(wú)需使用危險(xiǎn)溶劑。等離子體是一種電離氣體，能夠?qū)щ姴碾娫粗形漳芰?。人為的等離子體通常是在低壓環(huán)境下產(chǎn)生的（閃電和北極光是自然發(fā)生的等離子體的例子）。當(dāng)氣體吸收電能時(shí)，其溫度升高，導(dǎo)致離子振動(dòng)更快，并 "擦洗 "一個(gè)表面。
在半導(dǎo)體加工中，等離子體清洗通常被用來(lái)在焊線前準(zhǔn)備晶圓表面。去除污染（助焊劑）可以加強(qiáng)粘接的粘性，這有助于延長(zhǎng)設(shè)備的可靠性和壽命。
在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中，等離子體清洗對(duì)于實(shí)現(xiàn)合成生物材料和天然組織之間的兼容性很有用。表面改性可以限度地減少不良反應(yīng)，如炎癥、感染和血栓形成。
典型應(yīng)用：
- 電線連接表面處理
- 去除污染物（焊劑）或?qū)Ρ砻孢M(jìn)行消毒
- 促進(jìn)兩個(gè)表面之間的粘連
- 控制表面張力以達(dá)到疏水或親水的表面
- 提高生物相容性
- 通過(guò)交聯(lián)提高聚合物的性能，減少磨損設(shè)備的摩擦力
等離子清洗如何工作一一離子激發(fā)
當(dāng)氣體吸收電能時(shí)，其溫度升高導(dǎo)致離子振動(dòng)加快。在惰性氣體（如氬氣）中，被激發(fā)的離子可以轟擊表面并去除少量材料。在活性氣體的情況下，如氧氣，會(huì)發(fā)生離子轟擊和化學(xué)反應(yīng)。因此，有機(jī)化合物和殘留物會(huì)揮發(fā)并被清除。
無(wú)線電頻率（RF）、微波、交流電或直流電可以給氣體等離子體提供能量。氣體等離子體中的高能物種包括離子、電子、自由基、可轉(zhuǎn)移物質(zhì)和短波紫外線（UV）范圍內(nèi)的光子。高能物種轟擊基體，導(dǎo)致能量從等離子體轉(zhuǎn)移到表面。能量轉(zhuǎn)移通過(guò)化學(xué)和物理過(guò)程耗散到整個(gè)基材上，以達(dá)到理想的表面改性--在不改變材料的大體屬性的情況下，與幾百埃到10微米的表面深度發(fā)生反應(yīng)。
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