高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至500ppm的氣氛中在高達(dá)500℃的溫度下進(jìn)行熱處理。這使得該系列非常適合 MLCC和LTCC 脫脂，以及各類抗氧化熱處理。高溫?zé)o氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù)，具有出色的氣密性和溫度均勻性，同時(shí)還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時(shí)采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機(jī)構(gòu)，可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進(jìn)行快速冷卻，從而縮短處理時(shí)間。

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡介

適用范圍

適用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI,PBO固化），IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環(huán)氧樹脂），玻璃基板烘烤，高精度退火處理等。

應(yīng)用范圍	加熱目的	加熱對象
電子元器件	脫脂（粘合劑燒結(jié)），固化	陶瓷材料/板材，MLCC（多層陶瓷電容器），LTCC（低溫共燒陶瓷），陶瓷O2傳感器，鐵氧體磁芯，F(xiàn)PC（柔性印刷電路），共模噪聲濾波器，熱敏電阻
精密原料	脫脂，固化，退火，燒結(jié)，干燥	晶圓，硅片，碳化硅陶瓷，靜電吸盤，氮化鋁，光學(xué)鏡頭，柔性基板，充電電池，電極材料，線束（銅線），催化劑，鍛造品

設(shè)備參數(shù)

型號	YH-OXY-500C	工作穩(wěn)定范圍	常溫—500℃
極限含氧量	50PPM 以內(nèi)	降溫方式	水冷降溫
尺寸
工作尺寸	H600W600D600mm
工作室
工作室數(shù)量	單個工作室，工作室可分 4 層
內(nèi)部配置	配置 4 個不銹鋼鋼支層架，層架上包裹不銹鋼網(wǎng)孔板,層架間距可調(diào)節(jié)
運(yùn)風(fēng)加熱系統(tǒng)
加熱速率	升溫速率 8-10℃/min,恒溫時(shí)間可控
降溫速率	500℃降溫至 100℃≤50 分鐘（根據(jù)冷卻水溫度不同，時(shí)間有差異）
充氮裝置	自動控制充氮進(jìn)程，確保產(chǎn)品在無氧或低氧濃度環(huán)境下進(jìn)行加熱，防止產(chǎn)品氧化
電源
超溫保護(hù)裝置	獨(dú)立智能溫控器，當(dāng)實(shí)際檢測溫度超過超溫保護(hù)器設(shè)定值時(shí)，自動切斷加熱電源，雙重保護(hù)作用
保護(hù)系統(tǒng)	設(shè)備有缺相檢測、自診斷、漏電保護(hù)、超溫保護(hù)、突發(fā)情況參數(shù)自主保存、傳感器自診定、過載保護(hù)、接地保護(hù)、風(fēng)機(jī)過熱保護(hù)、電池門禁、操作人員防呆設(shè)置保護(hù)
使用環(huán)境	環(huán)境條件：溫度 5~40℃之間：濕度≤85%R.H 電源：AC380V，50HZ 使用環(huán)境：無強(qiáng)烈振動，無強(qiáng)烈磁場影響，無腐蝕氣體，無揚(yáng)塵。氣壓 86~106Ka 氮?dú)庠矗?.8MPA,100L/MIN 墻面距離≥500mm

關(guān)鍵詞：電容器保護(hù)器

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