深圳市怡和興機電科技有限公司
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更新時間:2026-04-26 09:35:49瀏覽次數(shù):79次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中,在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥,銀膠固化,晶圓光刻的軟烤和硬烤等,以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構(gòu),可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進行快速冷卻,從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥,IC封......
設(shè)備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中,在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥,銀膠固化,晶圓光刻的軟烤和硬烤等,以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構(gòu),可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進行快速冷卻,從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥,IC封裝(銅基板,銀膠,硅膠,環(huán)氧樹脂),玻璃基板烘烤等。
設(shè)備特點
1、升溫速率可控,設(shè)定工藝曲線,一鍵運行;輔助降溫縮短降溫時間,提高生產(chǎn)效率;可達到低氧環(huán)境,固化效果更好。
2、箱內(nèi)采用單向水平運風,兩側(cè)風道內(nèi)強壓送風,風道兩側(cè)采用高密度沖孔風板,精確控制導流板角度,確保箱內(nèi)溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器,并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節(jié)氮系統(tǒng),無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。
6、烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。
7、應(yīng)用功能*,老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。
選配組件
1、程序控溫:可配置程序型溫度控制器,實現(xiàn)多組程序控溫。
2、測溫功能:多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調(diào)節(jié):可加裝風量調(diào)節(jié)裝置,亦可實現(xiàn)風門開關(guān)程序控制。
4、溫度記錄儀:可配置多通道溫度記錄儀,打印機或RS485接口,用于連接打印機或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度變化狀況。
5、快速降溫系統(tǒng):實現(xiàn)快速升降溫的功能。
設(shè)備參數(shù)
| 型號 | YH-OXY-2SH | 工作穩(wěn)定溫度范圍 | 常溫~250℃ |
| 使用電壓 | 三相五線380V,50Hz | 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 加熱功率 | 4.5KW*2 | 溫度均勻性 | ±2.5%℃ |
| 風機功率 | 370W*2 | 溫度穩(wěn)定度 | ±0.5℃ |
| 極限含氧量 | <100PPM | 降溫方式 | 水冷降溫 |
| 尺寸 | |||
| 工作尺寸 | H(600*2)*W720*D600 mm | ||
| 外觀尺寸 | H1805*W1340*D865 mm | ||
| 箱體 | |||
| 箱體外壁材料 | SS41#冷軋鋼板 | ||
| 箱體內(nèi)膽材料 | 304#不銹鋼板 | ||
| 保溫材料 | 100K硅酸鋁棉,材料不可燃,隔熱性強; | ||
| 容積 | 260L*2 | ||
| 外箱涂裝材料 | 外表面整體噴粉,烤漆處理,顏色為計算機白,表面不脫粉,不掉漆; | ||
| 移動腳輪 | 箱體底部安裝4個帶剎車萬向輪,方便烤箱移動和固定; | ||
| 工作室 | |||
| 工作室數(shù)量 | 2 每個工作室可分2層,每個工作室可單獨設(shè)置調(diào)節(jié)溫度。 | ||
| 內(nèi)部配置 | 配置4個不銹鋼鋼支層架,層架上包裹不銹鋼網(wǎng)孔板,層架間距可調(diào)節(jié)。 | ||
| 加熱速率 | 空載情況下從常溫升溫至175℃≤30分鐘,恒溫時間可控。 | ||
| 降溫速率 | 175℃降溫至80℃≤40分鐘 | ||
| 選配 | 含氧檢測儀,真空泵,HEPA高效過濾 | ||
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商 鋪:深圳市怡和興機電科技有限公司 http://m.liuyangwu.com/st139355/
主營產(chǎn)品:大型烤箱、光電烤箱、電鍍烤箱、老化烤箱、電子防潮柜、工業(yè)防潮柜、氮氣柜、防潮箱、高溫烘箱、熱風循環(huán)烘箱
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