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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市怡和興機電科技有限公司


無氧烘箱

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:蔣小姐查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-04-26 09:35:49瀏覽次數(shù):79次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:91條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:蔣小姐 (市場經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中,在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥,銀膠固化,晶圓光刻的軟烤和硬烤等,以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構(gòu),可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進行快速冷卻,從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥,IC封......

詳細介紹

設(shè)備簡介
高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至100ppm的氣氛中,在250℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合晶圓塑封干燥,銀膠固化,晶圓光刻的軟烤和硬烤等,以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,還確保了更高的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。同時采用由冷卻水循環(huán)的外部冷卻機構(gòu),可以在不影響爐內(nèi)氣氛的情況下進行快速冷卻,從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓干燥,IC封裝(銅基板,銀膠,硅膠,環(huán)氧樹脂),玻璃基板烘烤等。

設(shè)備特點
1、升溫速率可控,設(shè)定工藝曲線,一鍵運行;輔助降溫縮短降溫時間,提高生產(chǎn)效率;可達到低氧環(huán)境,固化效果更好。
2、箱內(nèi)采用單向水平運風,兩側(cè)風道內(nèi)強壓送風,風道兩側(cè)采用高密度沖孔風板,精確控制導流板角度,確保箱內(nèi)溫度均勻性。
3、高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器,并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
4、減壓閥+雙流量計節(jié)氮系統(tǒng),無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
5、采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。
6、烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),箱內(nèi)持續(xù)充氮,使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。
7、應(yīng)用功能*,老化、退火、測試、固化、干燥、溶劑、涂料和油漆固化、壓力緩解等。

選配組件
1、程序控溫:可配置程序型溫度控制器,實現(xiàn)多組程序控溫。
2、測溫功能:多點測溫查看及記錄功能。
3、風門調(diào)節(jié):可加裝風量調(diào)節(jié)裝置,亦可實現(xiàn)風門開關(guān)程序控制。
4、溫度記錄儀:可配置多通道溫度記錄儀,打印機或RS485接口,用于連接打印機或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度變化狀況。
5、快速降溫系統(tǒng):實現(xiàn)快速升降溫的功能。

設(shè)備參數(shù)

型號
YH-OXY-2SH
工作穩(wěn)定溫度范圍
常溫~250℃
使用電壓
三相五線380V,50Hz
控溫精度
±0.1℃
加熱功率
4.5KW*2
溫度均勻性
±2.5%℃
風機功率
370W*2
溫度穩(wěn)定度
±0.5℃
極限含氧量
<100PPM
降溫方式
水冷降溫
尺寸
工作尺寸
H(600*2)*W720*D600 mm
外觀尺寸
H1805*W1340*D865 mm
箱體
箱體外壁材料
SS41#冷軋鋼板
箱體內(nèi)膽材料
304#不銹鋼板
保溫材料
100K硅酸鋁棉,材料不可燃,隔熱性強;
容積
260L*2
外箱涂裝材料
外表面整體噴粉,烤漆處理,顏色為計算機白,表面不脫粉,不掉漆;
移動腳輪
箱體底部安裝4個帶剎車萬向輪,方便烤箱移動和固定;
工作室
工作室數(shù)量
2 每個工作室可分2層,每個工作室可單獨設(shè)置調(diào)節(jié)溫度。
內(nèi)部配置
配置4個不銹鋼鋼支層架,層架上包裹不銹鋼網(wǎng)孔板,層架間距可調(diào)節(jié)。
加熱速率
空載情況下從常溫升溫至175℃≤30分鐘,恒溫時間可控。
降溫速率
175℃降溫至80℃≤40分鐘
選配
含氧檢測儀,真空泵,HEPA高效過濾

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