北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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閱讀：76發(fā)布時(shí)間：2024-9-9
氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理
內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測(cè)試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng)，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
定位方法
采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。
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氦質(zhì)譜檢漏的應(yīng)用
氦質(zhì)譜檢漏常用的操作方法
板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質(zhì)譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機(jī)組。板翅式換熱器的氦質(zhì)譜檢漏一般采用噴吹法和鐘罩法，如檢查內(nèi)漏還可以采用吸入法進(jìn)行檢漏。
噴吹法
該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對(duì)其抽真空并達(dá)到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向漏孔噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時(shí)，氦氣就通過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜管被檢測(cè)。
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