Aerotech 直線電機平臺
1.ANT-25L/-50L納米精度直線電機平臺
1)可以組合成X,XY,XYZ及其他組合方式的產(chǎn)品
2)使用Automation3200可以實現(xiàn)2)5nm的直線分辨率
3)交鑰匙的驅(qū)動和控制系統(tǒng)
4)非接觸，非接頭效應(yīng)，直接驅(qū)動
5)超安靜直線伺服電機驅(qū)動
6)高速，實時軸校準(zhǔn)
7)行程25mm-50mm
8)精度±0.3um
9)負(fù)載5.0kg
2.ANT-LX納米精度交叉滾軸平臺
1)可以組合成X,XY,XYZ及其他組合方式的產(chǎn)品
2)使用Automation3200可以實現(xiàn)2)5nm的直線分辨率
3)交鑰匙的驅(qū)動和控制系統(tǒng)
4)非接觸，非接頭，直接驅(qū)動
5)超安靜直線伺服電機驅(qū)動
6)高速，實時軸校準(zhǔn)
7)行程50mm
8)精度±0)3um
9)負(fù)載8.0kg
3.ALS130直線電機平臺
1) 雙向重復(fù)定位精度高達(dá)0)1um
2) 直驅(qū)直線馬達(dá)實現(xiàn)超精密運動
3) 高精度非接觸式直線編碼器（光柵）
4) 交叉滾子軸承實現(xiàn)平穩(wěn)運動
5) 占地面積小，性能*
6) 行程150mm
7) 精度±0.3um
8) 負(fù)載12.0kg
4.ALS135 直線電機平臺
1) 直驅(qū)直線馬達(dá)實現(xiàn)超精密運動
2) 高精度非接觸式直線編碼器（光柵）
3) 占地面積小，性能*
4）行程200mm
5）精度±0.3um
6）負(fù)載12.0kg
5.ALS1000 直線電機平臺
1) 直驅(qū)直線馬達(dá)實現(xiàn)超精密運動
2) 長壽命直線運動導(dǎo)軌系統(tǒng)
3) 2軸內(nèi)部電纜管理系統(tǒng)
4) 可選氣體凈化的密封設(shè)計
5) 低成本，占地面小6) 行程450mm
7）精度±1.0um
8）負(fù)載50.0kg
6.ALS3600 直線電機平臺
1) 大而明亮的孔徑
2) 行程范圍從100mmx100mm到400mmx400mm
3) 直線運動導(dǎo)架
4) 15角秒的垂直度
5) 高精度非接觸式直線編碼器（光柵尺）
6) 行程400mm
7）精度±2.0um
8) 負(fù)載90.0kg
7.ALS5000 直線電機平臺
1) 適合惡劣環(huán)境
2) 堅)臺面和導(dǎo)軌罩
3) *整合電纜管理系統(tǒng)
4) 高精度，非接觸式直線編碼器（光柵尺）
5) 可選氣體凈化的密封設(shè)計
6) 行程1000mm
7) 精度±1.0um
8) 負(fù)載135.0kg
8.ALS5000WB 直線電機平臺
1) 寬底座可以承受較大的偏移負(fù)載
2) *的雙直線電機驅(qū)動
3) 堅硬涂層臺面和導(dǎo)軌罩
4) *整合電纜管理系統(tǒng)
5) 可選氣體凈化的密封設(shè)計
6) 行程1000mm
7) 精度±1.0um
8) 負(fù)載135.0kg
9.ALS20000 直線電機平臺
1) 保護金屬導(dǎo)軌罩
2) 完整的電纜管理系統(tǒng)
3) 潔凈空間應(yīng)用的理想選擇
4) 緊湊的結(jié)構(gòu)，直線電機平臺
5) 成像和掃描應(yīng)用中具有優(yōu)良的速度控制性能,適合成像和掃描應(yīng)用
6) 行程600mm
7）精度±1.0um
8）負(fù)載70.0kg
10.ALS25000 直線電機平臺
1) 防護金屬導(dǎo)軌罩和側(cè)面封閉可以適應(yīng)惡劣的環(huán)境
2) 完整的電纜管理系統(tǒng)
3) 性能高直驅(qū)直線電機實現(xiàn)優(yōu)良的伺服性能
4) 緊湊結(jié)構(gòu)以適應(yīng)有限空間的應(yīng)用需求
5) 行程600mm
6) 精度±1.0um
7) 負(fù)載70.0kg
11.ALS130H直線電機平臺
1) 雙向重復(fù)定位精度高達(dá)75nm
2) 直驅(qū)直線馬達(dá)實現(xiàn)超精密運動
3) 高精度非接觸式直線編碼器（光柵）
4) 交叉滾子軸承實現(xiàn)平穩(wěn)運動
5) 占地面積小，性能*
6) 23N(5)2lb)持續(xù)推力的直線伺服馬達(dá)
7) 行程150mm
8) 精度±75nm
9) 負(fù)載12.0kg
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