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閱讀：59發(fā)布時間：2025-2-21
等離子表面處理儀又稱作等離子體清洗儀，通過等離子體去除樣品表面的污染物從而達(dá)到清洗目的。使用等離子體處理樣品表面不僅可以達(dá)到清潔表面的目的，而且可以改變材料表面的親水性。
典型的低溫等離子表面處理儀結(jié)構(gòu)由五個部分組成，分別有真空腔體及電極組件、等離子體發(fā)生器、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。
等離子表面處理儀結(jié)構(gòu)示意圖
真空系統(tǒng)及電極組件
低溫等離子表面處理儀中真空系統(tǒng)是一個關(guān)鍵部分。等離子體的產(chǎn)生,材料的處理均在該腔體中完成。真空系統(tǒng)提供保持等離子體產(chǎn)生時一定的真空度的處理氣體以一定量進(jìn)入真空腔體,一旦真空腔體達(dá)到產(chǎn)生等離子體所要求的真空度,等離子體發(fā)生器信號加到電極上便產(chǎn)生等離子體。處理氣體通過真空系統(tǒng)中的流量控制器被導(dǎo)入真空腔體,由流量控制器控制每種處理氣體精確流入保證低溫等離子體處理材料的要求。低溫等離子體是在電極板之間放電產(chǎn)生的,因此,在真空腔體中設(shè)計了極板組件,待處理的高分子材料存放在極板上。
電極組件有兩個功能,一是低溫等離子體發(fā)生器通過電極組件在真空腔體內(nèi)產(chǎn)生低溫等離子體,二是存放待處理的產(chǎn)品及材料。
等離子發(fā)生器
等離子體發(fā)生器信號加在電極上便開始激發(fā)真空腔體內(nèi)的處理氣體產(chǎn)生等離子體,處理用氣體等離子體發(fā)生器能量被電離。常用等離子體發(fā)生器工作頻率從千赫茲到兆赫茲。其中射頻等離子體發(fā)生器的頻率為13.56MHz,中頻等離子體發(fā)生器的頻率為40KHz。
控制系統(tǒng)
低溫等離子表面處理儀的真空系統(tǒng)和等離子體發(fā)生器的運(yùn)行均由控制系統(tǒng)控制?？刂葡到y(tǒng)由作為核心,通過觸摸屏作為人機(jī)接口,在觸摸屏上進(jìn)行手動操作和自動操作。在觸摸屏上控制真空泵、等離子體發(fā)生器、進(jìn)氣閥、排氣閥、氣體流量計的開啟,真空度的設(shè)置、處理時間、處理氣體的選擇和流量大小、等離子體發(fā)生器功率等都由控制系統(tǒng)進(jìn)行控制,整個控制系統(tǒng)在自動狀態(tài)下可適時進(jìn)行動態(tài)控制。
以上就是關(guān)于等離子表面處理儀各部分結(jié)構(gòu)組成的簡單介紹。上述只是常見的關(guān)于（CCP）電容耦合等離子體產(chǎn)生方式的等離子表面處理儀結(jié)構(gòu)介紹，不同等離子體放電方式的等離子表面處理儀結(jié)構(gòu)略有不同，但是大部分結(jié)構(gòu)組成都是相似的，只是在放電部分略有不同。
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