等離子清洗機使用多種工藝氣體。表面清潔和活化通常采用氧、氫、氮和壓縮空氣，但根據(jù)不同的工藝要求也可使用氬氣。
那么為什么要使用這種氣體，它在等離子體清潔器中的主要功能是什么。今天就和大家分享氬在真空等離子清洗機中的應(yīng)用知識，供大家參考。
一、概述
氬氣簡稱為氬，英文名為Ar。這是一種無色無味的惰性氣體。它通過高壓氣瓶運輸和儲存.主要用于工業(yè)中的金屬電弧焊和切割保護。
氬是一種惰性氣體。電離后產(chǎn)生的離子不會與基底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在等離子清洗中，主要用于基體表面的物理清洗和表面粗糙化。的特點是用于表面清洗。不會造成精密電子器件的表面氧化。正因為如此，氬等離子清洗機廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。
二、輝光放電顏色
真空等離子體清潔器中氬氣電離產(chǎn)生的等離子體是暗紅色的。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮氣產(chǎn)生的等離子體顏色都是紅色的，但氬等離子體的亮度低于氮氣，高于氫氣，這是比較容易區(qū)分的。
三、應(yīng)用介紹。
1.表面清洗
在硅片、玻璃等產(chǎn)品的表面除顆粒過程中，通常采用氬等離子體轟擊表面顆粒，以達到顆粒破碎和松動的效果。（與基體表面分離），然后結(jié)合超聲波清洗或離心清洗等工藝去除表面的顆粒。特別是在半導(dǎo)體封裝工藝中，為了防止引線鍵合工藝完成后的氧化，采用氬等離子體或氬氫等離子體進行表面清洗。
2.表面粗糙化
等離子清洗機的表面粗糙化也稱為表面蝕刻。其目的是增加材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝的結(jié)合力。氬等離子清洗機處理后的表面張力將得到明顯改善?；钚詺怏w產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離產(chǎn)生的顆粒相對較重，而氬離子在電場作用下的動能會明顯高于活性氣體，因此粗化效果會更強。顯然，它在無機基材的表面粗糙化工藝中應(yīng)用廣泛。如玻璃基板表面處理、金屬基板表面處理等。
3.由活性氣體輔助
在等離子體清洗器的活化和清洗過程中，工藝氣體常常被混合，以獲得更好的效果。
由于氬的分子比較大，電離后產(chǎn)生的顆粒比較大，在清潔和活化表面時通常與活性氣體混合。見的是氬和氧的混合物。
氧是一種高活性氣體，能有效地分解有機污染物或有機底物表面，但其顆粒相對較小，斷鍵和轟擊的能力有限。如果加入一定比例的氬氣，所產(chǎn)生的等離子體將對有機污染物或有機基板表面具有更強的斷鍵和分解能力，清洗和活化效率將加快。
氬和氫的混合物用于引線鍵合和鍵合工藝。除了增加焊盤粗糙度外，還能有效去除焊盤表面的有機污染物，同時減少表面的輕微氧化。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、SMT等行業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。
