等離子體表面處理儀使用方法如下：
1、進入“主機界面"（圖 1主機界面），點擊“下一頁"進入“功能畫面"選擇“參數(shù)頁面"，進入?yún)?shù)畫面，系統(tǒng)參數(shù)設(shè)定是通過觸摸式一體化機完成的，其中射頻功率、清洗時間、充氣種類、充氣數(shù)量等都可通過觸摸屏設(shè)定，如果需要混合氣體清洗，可選擇對應(yīng)的不同充氣管路，并分別設(shè)置充氣流量，抽氣本底壓強等中間控制點，可通過真空計設(shè)置。
2、返回主機界面。點擊“下一頁"進入“手動頁面"將氣體閥門設(shè)置為打開狀態(tài)。
3、調(diào)節(jié)功率，功率調(diào)節(jié)范圍 80%-99%，可根據(jù)實驗需求進行調(diào)節(jié)。
4、將被處理物放置真空腔內(nèi)，關(guān)好腔門，按下啟動按鈕，打開真空泵開始抽取真空，當腔體內(nèi)氣壓低于 100Pa 時打開射頻電源。
5、待腔體產(chǎn)生輝光，根據(jù)實驗需求，手動調(diào)節(jié)流量計旋鈕添加輔助性氣體。
6、到達處理時間后，平衡閥自動復原，10 秒左右恢復常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開。
7、打開腔門，取出被處理樣品，一次處理流程至此結(jié)束。
